SP-086-001e.pdf - 第25页
Fig. E1 1010-001 Fig. E1-4 C D 373 368 366 372 381 389 390 364 371 364 363 386 380 384 385 362 371 365 366 367
D
C
(BASE:Document No.P-310-00X
UNIT-4 Fig.E1-4)
C
D
373
368
366
372
381
389
390
364
371
364
363
386
380
384
385
362
371
365
366
367
Fig. E1-4 X
ビームユニット
X Beam Unit
1010-001
Fig. E1
基板高さ測定フィードバック機能
PCB HEIGHT MEASUREMENT FEEDBACK FUNCTION
Fig. E1
1010-001
Fig. E1-4
C
D
373
368
366
372
381
389
390
364
371
364
363
386
380
384
385
362
371
365
366
367
Key No. PART No. PART NAME Q’ty
REMARKS
NOTE
362 0978B10A PLATE 1 3097800101-002
363 0914DAAC Bkt_Badmark1 1 3097800101-003
364 0978B106 SENSOR 1 3097800101-004
365 221AA013 ROHS_HEX-SCT 2 3097800101-005
366 221HA103 WASHER 2 3097800101-006
367 221HA003 WASHER 2 3097800101-007
368 0916D209 ACCESS_WIRING 1 3097800101-008
371 0978B105 SENSOR_PELEC 1 3097800103-001
372 0914DAA5 CONNECTOR 2 3097800103-002
373 23N20103 TUBE_WIRING 2 3097800103-003
380 221AA020 ROHS_HEX-SCT 2 1097800100-010
381 221AA005 ROHS_HEX-SCT 2 1097800100-011
384 221HA104 WASHER 2 1097800100-014
385 221HA004 WASHER 2 1097800100-015
386 0916D209 ACCESS_WIRING 30 1097800100-016
389 221HA103 WASHER 2 1097800100-019
390 221HA003 WASHER 2 1097800100-020
Fig. E1-4
Fig. E1
1010-001
GS-IH100