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M6 IIIc-BED 6/
M6 IIIc-ベッド 6/
2UGZBE000160
No.
Drg.No. & Code No.
QTY
Description
Rating
Remarks
番号
図番
&
ｺｰﾄﾞ番号
個数
品名
規格
備考
136
H54252
4
BOLT, HEX SOCKET
ボルト　六角穴
M03X008(3
ｶ
ｼﾛ
)
137
W1106C
4
WASHER, LOCK
ワッシャ　スプリング
3M/M(3
ｶ
ｼﾛ
)
138
S69080
2
SENSOR, PHOTO
センサ　フォト
PM-U25P
139
K65292
4
SCREW, C/R PAN
小ネジ　十穴鍋
M02X008 0
ﾊﾞﾝ
1
ｼｭ
(3
ｶ
ｼﾛ
)
139.1
W1108A
4
WASHER, FLAT
ワッシャ　平
2M/MX0.3X4.3(3
ｶｼﾛ
)
140
2MGTBE012001
1
SHIM
シム
INT, t=1.5
141
2MGTBE012301
1
SHIM
シム
INT, t=1.5
142
2MGTBE012101
1
SHIM
シム
INT, t=2.0
143
2MGTBE012401
1
SHIM
シム
INT, t=2.0
144
2MGTBE012201
1
SHIM
シム
INT, t=2.5
145
2MGTBE012501
1
SHIM
シム
INT, t=2.5
146
K5357L
4
SCREW, HEX SOCKET COUNTERSUNK
小ネジ　六角穴皿
M03X006(3
ｶ
ｼﾛ
)
147
K5357L
4
SCREW, HEX SOCKET COUNTERSUNK
小ネジ　六角穴皿
M03X006(3
ｶ
ｼﾛ
)
148
K5357L
4
SCREW, HEX SOCKET COUNTERSUNK
小ネジ　六角穴皿
M03X006(3
ｶ
ｼﾛ
)
160
2MGTBZ003002
1
TAPE, SEAL
テープ　シール
161
2MGTBZ002900
1
TAPE, SEAL
テープ　シール
175
H67175
1
BRUSH
ブラシ
LC6060-3PA GY 300R
191
2MGZBE005101
1
BKT
ＢＫＴ
192
2MGZBE005201
1
BKT
ＢＫＴ
193
H5426M
2
BOLT, HEX SOCKET
ボルト　六角穴
M04X012(3
ｶ
ｼﾛ
)
194
W1106D
2
WASHER, LOCK
ワッシャ　スプリング
4M/M(3
ｶ
ｼﾛ
)
195
W1043C
2
WASHER, FLAT
ワッシャ　平
4W- 4(3
ｶｼﾛ
)
196
H54253
2
BOLT, HEX SOCKET
ボルト　六角穴
M03X010(3
ｶ
ｼﾛ
)
197
W1106C
2
WASHER, LOCK
ワッシャ　スプリング
3M/M(3
ｶ
ｼﾛ
)
198
W1108D
2
WASHER, FLAT
ワッシャ　平
4W-3(3
ｶ
ｼﾛ
)
150
PTS-NXT3c-07
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151
PTS-NXT3c-07
φ6
φ6
φ6
φ4
φ10
φ4
φ4
φ6
φ6
φ6
φ6
φ6
φ8 φ8
φ12
φ12
φ4
φ10
φ12
φ4
φ8
φ10
φ10
φ8 φ10
φ4φ4
φ10
φ6
φ6
φ4
AS1201F-M5-06-X229
AS1201F-M5-06-X828
Neg press
Pos press
Neg pressPos press
Neg press
Neg press
Pos press
Pos press
Pos press
102103 109
151
106
112
115
114
116
23
2730
44
25
26
4
20
4 25
20
122
52
51
8 9
15 14
10
21 22
29 13 19 17
43 42 41
18 1631
23
118
10
29
2727
24
3 3
223
105
113
108
110
131
107
132
104
117
1
111
7
6
5 5
12
11
101
120
34
35
28 17
18 16
204
205
203
204
206
207
208
201
202
2UGZBE000160
M6 IIIc-BED 7/
MANUHOLD
CONVEYOR
DUCT
LEFT SIDE
RIGHT SIDE
Y-AXIS FLEXIBLE TRACK
FOR FEEDER OPTION
FOR MODULE FRONT SIDE
WASTE TAPE
DEVICE BASE
XSLIDE
NOZZLE CHANGE
IONIZER
BASE
(AIR SOURSE)
BASE
(AIR SOURSE)
(DEVICE BASE)
PROCESSING UNIT
G
F2
F1
I
H
C1
E
D
STANDARD
VACUUM BACK UP PINS (LANE1)
VACUUM BACK UP PINS (LANE2)
INSTALLATIONS
IONIZER ON
DUST COLLECT
AIR BLOW ON
152
PTS-NXT3c-07
M
6
III c
-
^
'
vK
7
/
<
>
<
>
<
>
<
>
9
'
0
h
8
左側
右側
乂
"
T
1
標準仕様
八一叉
(
工
7
源
）
^
—
7
.
(
工
7
源
）
Y
軸々一夕儿八
7
負圧
012
x
2
埃対策
正圧
06
■
o
:
;
x
;
>
—
H
集塵工
7
夕口一
ON
JJO
M
5
正圧
010
O
oo
SYJS
12
T
-
5
MOZ
-
M
5
-
F
-
Q
正圧
010
OQ
負
O
o
口
>
/
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T
正
正
o
-
f
才于
-
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,
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Ux
沁一又部
）
7
二木
K
干
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—
儿前側用
W
-
夕
，
0
P
用