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H01/H02-NOZZLES 2/ H01/H02-ノズル 2/ No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks 番号 図番 & コード番 号 個数 品名 規格 備考 1 AA084 19 1 NOZZL E ノズル φ2.5G, Consuma ble Parts 2 AA085 20 1 NOZZL E ノズル φ3.7G, Consuma ble Pa…

φ2.5
φ20.0
φ15.0
φ10.0
φ7.0
φ5.0
φ3.75
26 26
26
26
26
26
26
AA08419
R36-025G-260
AA07422
R36-100G-260
AA07324
R36-070G-260
AA07221
R36-050G-260
AA08520
R36-037G-260
L56
L57
L58
L59
L60
L61
AA07516
R36-150G-260
AA07615
R36-200G-260
L62
φ2.5G φ7.0G
φ3.7G φ10.0G
φ5.0G φ15.0G
φ20.0G
2.1
2.2
3.1
3.2
4.1
4.2
5.1
5.2
6.1
6.2
7.1
7.2
1 7
5
4
2
63
++ࣀࢬࣝ
H01/H02-NOZZLES 2/
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PTS- NAHEAD- 10

H01/H02-NOZZLES 2/
H01/H02-ノズル 2/
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks
番号 図番 & コード番号 個数 品名 規格 備考
1 AA08419 1 NOZZLE
ノズル
φ2.5G, Consumable Parts
2 AA08520 1 NOZZLE
ノズル
φ3.7G, Consumable Parts
2.1 PB30312 1 SHIM
シム
2.2 H1194K 1 PAD, VACUUM
パット バキューム
KPA-2-N
3 AA07221 1 NOZZLE
ノズル
φ5.0G, Consumable Parts
3.1 PB30312 1 SHIM
シム
3.2 H1339B 1 PAD, VACUUM
パット バキューム
KPA-3.5-N
4 AA07324 1 NOZZLE
ノズル
φ7.0G, Consumable Parts
4.1 PB31592 1 SHIM
シム
4.2 2MGKNY002500 1 PAD, VACUUM
パット バキューム
5 AA07422 1 NOZZLE
ノズル
φ10.0G, Consumable Parts
5.1 PB31602 1 SHIM
シム
5.2 PG01621 1 PAD, VACUUM
パツト バキユーム
6 AA07516 1 NOZZLE
ノズル
R36-150G-260, Consumable Parts
6.1 PB31612 1 SHIM
シム
6.2 PG01631 1 PAD, VACUUM
パツト バキユーム
7 AA07615 1 NOZZLE
ノズル
R36-200G-260, Consumable Parts
7.1 PB31732 1 SHIM
シム
7.2 PG01641 1 PAD, VACUUM
パツト バキユーム
221
PTS- NAHEAD- 10

AA5EB04
R36-070-180
AA5EC03
R36-100-180
AA5ED02
R36-150-180
AA5EE01
R36-200-180
φ 20.0
AA6NG02
R36-150G-180
AA6NE04
R36-070G-180
AA6NH01
R36-200G-180
AA6NF03
R36-100G-180
φ 7.0
φ 7.0
φ 10.0
φ 10.0
φ 15.0
φ
15.0
φ 20.0
18.0
18.0
18.0
18.0
18.0
18.0
18.0
18.0
L29
L30
L31
L32
L49
L51
L52
L50
φ7.0G
φ10.0G
φ15.0G
φ20.0G
1
52
4
3
8
6
7
8.2
8.1
6.1
6.2
5.1
5.2
7.1
7.2
+ࣀࢬࣝ
H02-NOZZLES
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