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3-9 3 2. 매월 여 기 에서 는 X, Y 축 의 볼스크 류 , 가 이 드의 점검 과 청 소 및 급 유를 중심 으로 설 명 합니 다 . X, Y 축의 점검 포 인 트 및 주의 사항 은 다음과 같습니 다 . █ 점검 포인 트 1 . 볼스 크 류 및 가이드상 에 이물질의 부착 여부 볼스크 류 및 가이드 상에 칩 등이 튀어서 부 착되 어 있는 지 확 인 하 여 주십 시오 . 2. 볼스 크 류 …

3-8
3
1.3 멀티 카메라 조명 보호 글래스의 청소
멀티 카메라의 조명보호 글래스에 먼지가 묻어 있으면 , 부품인식 에러의 원인이 될 수 있습니다.
이를 방지하기 위해 정기적으로 점검•청소할 것을 권장합니다.
1
조명 보호 글래스상의 먼지를 털어냅니
다.
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 블로워 브로시로 조명 보호 글래스상의 먼지를
털어냅니다 .
57310 -K MG - 00
참고
블로워 브러시는 옵션 구입품입니다.
2
닦기용 와이퍼로 조명 보호 글래스를
닦습니다 .
닦기용 와이퍼 등에 렌즈 클리너를 몇 방울 적셔서
조명 보호 글래스를 닦아 주십시오 .
57311- K M G -0 0
n
요점
닦기용 와이퍼는 먼지가 나지 않는 것을 사용해 주십시오 .
렌즈 클리너는 옵션 구입품입니다 .
n
요점
상기의 작업을 실시해도 깨끗해 지지 않을 경우는 , 본 장
후술의 「4.1.2 멀티 카메라 조명유닛의 청소」를 참조해서
보호 글래스의 이면과 조명부를 청소해 주십시오 .
블로워 브러시로 청소
Step 1
보호 글래스
블로워 브러시
와이퍼로 보호 글래스 닦기
Step 2
먼지가 나지 않는 와이퍼

3-9
3
2. 매월
여기에서는 X, Y 축의 볼스크류 , 가이드의 점검과 청소 및 급유를 중심으로 설명합니다 .
X, Y 축의 점검 포인트 및 주의사항은 다음과 같습니다 .
█
점검 포인트
1. 볼스크류 및 가이드상에 이물질의 부착 여부
볼스크류 및 가이드상에 칩 등이 튀어서 부착되어 있는지 확인하여 주십시오 .
2. 볼스크류 및 가이드상의 구리스 상태 적절 여부
구리스가 흘러내리거나 튀어서 전혀 묻어있지 않거나 , 또는 변색되어 굳어있지 않은지 상태를 확인하여 주십시오 .
e
3. 볼스크류에서의 이음발생 여부
비상정지 버튼을 누른 상태에서 , X 축과 Y 축을 손으로 밀어봐서 이음의 발생 여부와 원활하게 동작되는지 확인하여 주십
시오 .
대처 방법
1. 칩 등이 끼이게 되면 볼스크류 및 가이드를 손상시키는 원인이 되므로 , 칩 등이 부착되어 있을 경우는 구리스 채 닦아내
거나 핀셋 등으로 제거하여 주십시오 .
2. 후술의「청소
•
급유」방법을 참조해서 구리스를 주입 및 도포해 주십시오 .
3. 상기의 1. 과 2. 의 대처방법을 실행해도 이상한 소리가 날 경우에는 야마하 또는 대리점으로 연락해 주십시오 .
█
주의 사항
w
경고
본 장비의 헤드 유닛에는 강자계를 발생하는 부분이 있으므로 , 유지보수 작업시 , 장비내에 신체의 일부를 진입시킬 때에는
주의가 필요합니다 . 강자계에 관한 주의 사항은 권두의「안전의 길잡이」에 게재되어 있으므로 , 반드시 읽어 주십시오 .
c
주의
각 축의 볼스크류 및 가이드에서 이상한 소리가 발생할 경우에는 , 판매 대리점 또는 야마하로 연락해 주십시오 . 자체적인 분해 청소는 보
장해 드릴 수 없습니다 .
c
주의
작업을 실행할 경우에는 , 부품의 분실 등을 막기 위해 사걱건 등을 깔고 작업해 주십시오 .
c
주의
구리스 사용에 관해서는 , 안전의 길잡이」 및 제 1 장 「2.3.2 급유 툴 • 구리스」 의 취급에 관한 주의 사항을 읽어 주십시오 .

3-10
3
2.1 X 축
X 축의 점검•청소•급유방법에 대하여 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 , 「제 5 장 급유개소 일람」
을 참조해 주십시오 . 구리스건 ( 표준타입 노즐 ) 과 지정 구리스 (NSL) 를 준비해 주십시오 .
n
요점
이 항목은 HM 헤드 유닛을 예로 들어서 설명합니다만 , HM5 헤드 유닛의 경우도 급유개소 및 작업순서는 같습니다.
2.1.1 X 축 볼스크류의 청소와 급유
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받
는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
3. 이동 핸들을 잡고 , 헤드 유닛을 앞쪽으로 이동
시킵니다 .
4. 사각건을 헤드 유닛의 밑에 깔아 둡니다 .
2
구리스 비산방지 커버를 탈착합니다 .
1. 십자 드라이버로 오른쪽 구리스 비산방지 커버
의 좌측 고정 나사 2 개를 뺍니다 .
2. 우측 커버의 고정 나사 2 개는 느슨하게 해 둡
니다 . 분리할 필요는 없습니다 .
3. 이동 핸들을 잡고 헤드를 우측으로 밀어서 ,
구리스 비산방지 커버를 좌측 방향으로 당겨서
탈착합니다 .
57312-K MG -00
참고
X 축의 구리스 비산방지 커버를 장착할 때에는 , 상기의
반대 순서로 작업해 주십시오 .
3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로 오래된 구리스와 더러움을
닦습니다 .
2. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽
의 볼스크류도 닦습니다 .
57313 -K M G -00
n
요점
청소 작업시에는 볼스크류의 홈 부분도 깨끗하게 닦아 주십
시오 . 또한 , 이물질의 발생 여부도 확인하여 주십시오 .
비산방지 커버의 탈착
Step 2
비산방지 커버
커버 고정나사
커버 고정나사
이동 핸들
볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
볼스크류