JX-100_JX-100LED-Rev05.pdf - 第70页
- 67 - 34. SYSTEM DIAGRAM (6) SYSTEM DIAGRAM (6) VACUUM P UMP TF1- 100-2 TF1-100/0-2 P&B W28XQ1A-10 CP5 10A 2 1 002:4C PS3-FG Z SERVO AMP FAN LOAD LINE ACN 1(A) 002: 2B TF1 -34/0 TF1-3 4 002:4D ACN1( B) 002:4D ACL1( …

- 66 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-76757 TB2-CP34 CABLE ASM
TB 2− CP 34 ケーブル組
1
2 400-76757 TB2-CP34 CABLE ASM
TB 2− CP 34 ケーブル組
1
3 400-76742 TF1-TB2 CABLE ASM
TF 1− TB 2 ケーブル組
1
4 400-76758 R3E CABLE ASM
R 3 E ケーブル組
1
5 400-76760 PS1CN1 CABLE ASM
PS 1 CN 1 ケーブル組
1
6 400-76761 TB2-RL3 CABLE ASM
TB 2− RL 3 ケーブル組
1
7 400-76763 RL3-CN034 CABLE ASM
RL 3− CN 034 ケーブル組
1
8 400-76762 PS2CN1 CABLE ASM
PS 2 CN 1 ケーブル組
1
9 400-76764 PS3CN1 CABLE ASM
PS 3 CN 1 ケーブル組
1
10 400-76757 TB2-CP34 CABLE ASM
TB 2− CP 34 ケーブル組
1
11 400-76759 TB2-84 CABLE ASM
TB 2−84 ケーブル組
1
12 400-76765 PS1CN51 CABLE ASM
PS 1 CN 51 ケーブル組
1
13 400-76766 CP7 OUT CABLE ASM
CP 7 アウトケーブル組
1
14 400-76767 PS1CN81 CABLE ASM
PS 1 CN 81 ケーブル組
1
15 400-76768 CP8 OUT CABLE ASM
CP 8 アウトケーブル組
1
16 400-76769 PS1CN61 CABLE ASM
PS 1 CN 61 ケーブル組
1
17 400-76770 CP9 OUT CABLE ASM
CP 9 アウトケーブル組
1
18 400-76771 CP10 OUT CABLE ASM
CP 10 アウトケーブル組
1
19 400-76772 PS2CN2 CABLE ASM
PS 2 CN 2 ケーブル組
1
20 400-76773 CP11 OUT CABLE ASM
CP 11 アウトケーブル組
1
21 400-76774 PS2CN3 CABLE ASM
PS 2 CN 3 ケーブル組
1
22 400-76775 PS3CN2 CABLE ASM
PS 3 CN 2 ケーブル組
1
23 400-76776 CP12 OUT CABLE ASM
CP 12 アウトケーブル組
1
24 400-25578 5V SHORT CABLE 1 ASM
5 V ショート束線1組
1
25 400-25579 5V SHORT CABLE 2 ASM
5 V ショート束線2組
1
26 400-76777 TB2 CABLE ASM
TB 2 ケーブル組
1
27 400-76935 POWER PCB ASM
パワー基板組
1

- 67 -
34.SYSTEM DIAGRAM (6)
SYSTEM DIAGRAM(6)
VACUUM PUMP
TF1-100-2
TF1-100/0-2
P&B W28XQ1A-10
CP5 10A
2
1
002:4C
PS3-FG
Z
SERVO AMP
FAN
LOADLINE
ACN1(A)
002:2B
TF1-34/0
TF1-34
002:4D ACN1(B)
002:4D ACL1(B)
ACL1(A)
002:2B
TF1-100-1
TF1-100/0-1
TB2(1/3)
MITSUBISHI
CP-S 2P 1-S
15A N
CP2 15A
Z/T POWER PCB
+48V
+48V
+48V
+48VRTN
+48VRTNTB2
AC34V_N1
TB1
AC34V_L1
TB3
5
4
3
2
1
MITSUBISHI
CP-S1P1-M
20A N
CP6 20A
+48UNRTN(B)8
TB7
+48UNRTN(A)
+48UNRTN(C)
7
9
+48UN
+48UN
5
6
CN037
1+24V1
3
2
+24VRTN
FAN_STOP
3
2
TB7
+48UN(A)
+48UN(A)
2
1
CN035
1
2
SV_ON11
+24VRTN
1
2
+48UN(B)
+48UN(B)
4
3
13 14
23 24
33 34
G7J-4A-T(24V)
D2
A2
43
A1
44
RL2
5
6
SV_ON11
+24VRTN
5
6
3
4
SV_ON11
+24VRTN
3
4
TB5
ACN1(C)
ACL1(C)
2
1
CN036
1
2
CARRY_SV_ON
+24VRTN
1
2
ACN1(B)
ACL1(B)
4
3P&B W28XQ1A-10
CP4 10A
4
3
G7J-4A-T
(DC24V)
Y SERVO AMP CTRL POWER
X SERVO AMP MAIN POWER
ACT2
ACS2
ACR2
B3
B2
B1
Y SERVO AMP MAIN POWER
CN001
ACT2
ACS2
ACR2
A3
A2
A1
D1
44 43
A2 A1
14 13
24 23
34 33
RL1
CN099
Y SERVO AMP CTRL POWER
L11
L123
1
4
LOADLINE
L11
L124
2
TB1
1
2
3
5
TF1-200/U
TF1-200/V
TF1-200/W
TF1
MITSUBISHI
CP-S 3P 1-S
20A N
CP1 20A
POWER-PCB(1/2)
POWER-UNIT INSIDE
1
2
3
6
4
5
7
8
9
10
11
12
13
14
15
17
16
18
19
20
21
23
22
24

- 68 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-76740 CP1 CABLE ASM
CP 1 ケーブル組
1
2 400-76741 TF1-CP5 CABLE ASM
TF 1− CP 5 ケーブル組
1
3 400-76742 TF1-TB2 CABLE ASM
TF 1− TB 2 ケーブル組
1
4 400-76757 TB2-CP34 CABLE ASM
TB 2− CP 34 ケーブル組
1
5 400-76757 TB2-CP34 CABLE ASM
TB 2− CP 34 ケーブル組
1
6 400-76759 TB2-84 CABLE ASM
TB 2−84 ケーブル組
1
7 400-76743 TF1-CP2 CABLE ASM
TF 1− CP 2 ケーブル組
1
8 400-76744 CP2-TB(ZT) CABLE ASM
CP 2− TB(ZT) ケーブル組
1
9 400-76937 ZT POWER PCB ASM
ZT パワー基板組
1
10 400-76745 CP1-TB1 CABLE ASM
CP 1− TB 1 ケーブル組
1
11 400-76746 CN099 CABLE ASM
CN 099 ケーブル組
1
12 400-76747 RL1-TB1 CABLE ASM
RL 1− TB 1 ケーブル組
1
13 400-76748 CN001 CABLE ASM
CN 001 ケーブル組
1
14 400-76749 CN036 CABLE ASM
CN 036 ケーブル組
1
15 400-76935 POWER PCB ASM
パワー基板組
1
16 400-76750 TB5-TB2-12 CABLE ASM
TB 5− TB 2−12 ケーブル組
1
17 400-76751 TB5-TB2-34 CABLE ASM
TB 5− TB 2−34 ケーブル組
1
18 400-76775 PS3CN2 CABLE ASM
PS 3 CN 2 ケーブル組
1
19 400-76752 TB3-TB7 CABLE ASM
TB 3− TB 7 ケーブル組
1
20 400-45339 CN037 CABLE ASM
CN 037 ケーブル組
1
21 400-76755 CN035 CABLE ASM
CN 035 ケーブル組
1
22 400-76753 TB3-CP6 CABLE ASM
TB 3− CP 6 ケーブル組
1
23 400-76754 CP6-RL2 CABLE ASM
CP 6− RL 2 ケーブル組
1
24 400-76756 RL2-TB7 CABLE ASM
RL 2− TB 7 ケーブル組
1