3OM-1218-005.pdf - 第270页

6 - 46 2.1 2.1 2.1 2.1 2.1 补正值数据补正值数据补正值数据补正值数据补正值数据 041 1-001 在各照相机设定以下补正值。 [1] [1] [1] [1] [1] 元件识别照相机元件识别照相机元件识别照相机元件识别照相机元件识别照相机 X( X( X( X( X( 横横横横横 ) ) ) ) ) 、、、、、 Y( Y( Y( Y( Y( 纵纵纵纵纵 )[mm] )[m…

6-45

2.1 2.1

2.1

补正值数据补正值数据

补正值数据

0505-002

2.1.222.1.22

2.1.22

元件识别补正值元件识别补正值

元件识别补正值

在 “ 补正值数据 ” 选项卡中，按[ 元件识别]Tab，再按[ 照相机 1]

Tab，显示以下选项卡。

[照相机 2]到[ 照相机 4]也显示相同界面。

Fig.3F38-1 Fig.3F38-1

Fig.3F38-1 “

元件识别照相机元件识别照相机

元件识别照相机

1 ”

选项卡选项卡

选项卡

(1)(1)

(1)

Note

[1][1]

[1]

Fig.3F38-2 Fig.3F38-2

Fig.3F38-2 “

元件识别照相机元件识别照相机

元件识别照相机

1 ”

选项卡选项卡

选项卡

(2)(2)

(2)

[2][2]

[2]

[3][3]

[3]

6-46

2.1 2.1

2.1

补正值数据补正值数据

补正值数据

041 1-001

在各照相机设定以下补正值。

[1][1]

[1]

元件识别照相机元件识别照相机

元件识别照相机

X(X(

横横

横

))

)

、、

、

Y(Y(

纵纵

纵

)[mm])[mm]

)[mm]

调整对装置基准坐标系原点到元件识别照相机中心的设计

尺寸的位置偏离。

Fig.3F39Fig.3F39

Fig.3F39

Xm-YmXm-Ym

Xm-Ym

装置基准坐标系装置基准坐标系

装置基准坐标系

Xc-YcXc-Yc

Xc-Yc

元件识别照相机坐标系元件识别照相机坐标系

元件识别照相机坐标系

Pm.Pm.

Pm.

装置基准坐标原点装置基准坐标原点

装置基准坐标原点

元件识别照相机中心元件识别照相机中心

元件识别照相机中心

元件识别照相机中心元件识别照相机中心

元件识别照相机中心

6-47

2.1 2.1

2.1

补正值数据补正值数据

补正值数据

0505-002

Z(Z(

角度角度

角度

)[)[

)[

° °

]]

]

设定对装置基准 XY 坐标(Xm-Ym 坐标) 的元件识别照相机扫描坐

标的角度偏离。以装置基准 XY 坐标系为基准，元件识别照相

机扫描坐标往逆时针方向倾斜时，补正值数据的符号为 “ + ” 。

Fig.3F40Fig.3F40

Fig.3F40

倍率倍率

倍率

X( X(

横横

横

))

)

、、

、

Y(Y(

纵纵

纵

)[0.01)[0.01

)[0.01

微米微米

微米

((

( µ

m)/m)/

m)/

像素像素

像素

(pixel)](pixel)]

(pixel)]

是设定元件识别照相机倍率的数据，用来设定 1pixel 相当

于多少 µm。

该补正值在倍率测定用治具的教示操作下自动被算出。

•

初始值初始值

初始值 : 6060

Xm-YmXm-Ym

Xm-Ym

装置基准坐标系装置基准坐标系

装置基准坐标系

Xc-YcXc-Yc

Xc-Yc

元件识别照相机坐标系元件识别照相机坐标系

元件识别照相机坐标系

Pm.Pm.

Pm.

装置基准坐标原点装置基准坐标原点

装置基准坐标原点

元件识别照相机元件识别照相机

元件识别照相机

元件识别照相机角度元件识别照相机角度

元件识别照相机角度

元件识别照相机元件识别照相机

元件识别照相机

元件识别照相机角度元件识别照相机角度

元件识别照相机角度