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TR6 Series 使用说 明书 1-5 1-4-2 基板输送部 的结 构以及各 部分的名称 当基板被输入， IN 传 感器 检测到基板 后，输送 电动机 13 驱动传动轴 12 ，通过输送带 11 开始输送 基板 。 基板 到达出口传感 器 时，根据 下游装置的状态来 继续或中断输送 。 当基板 通过出口传感器 后，就 变为可以输送下一块基板 的状态。 < 基板输送部 分 > 手摇轴 传感器托架固定 …
TR6 Series 使用说明书
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各部分的名称
1-4-1
整体图
＜MTC 外观图＞
矩阵式托盘交换装置主体 维护保养用电源开关
滑梭（供给元件部分） 操作盘
存储箱（托盘座板收纳部） 紧急停止开关
托盘座板 高度调节脚
TR6 Series 使用说明书
1-5
1-4-2
基板输送部的结构以及各部分的名称
当基板被输入，IN 传感器检测到基板后，输送电动机
13
驱动传动轴
12
，通过输送带
11
开始输送基板。
基板到达出口传感器时，根据下游装置的状态来继续或中断输送。
当基板通过出口传感器后，就变为可以输送下一块基板的状态。
<基板输送部分>
手摇轴 传感器托架固定螺丝
手柄 紧急停止开关
输送轨 传送带操作面板
输送轨
11
输送带
IN 传感器
12
传动轴
OUT 传感器
13
输送电动机
传感器托架
基板
TR6 Series 使用说明书
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托盘收纳部分的名称
＜存储箱（TR6SNR/6SNX/6SNV 用）＞
托盘存储箱主体 托盘座板定位导轨
存储箱把手 托盘存储箱固定托架
安全门（用于防止托盘座板滑出） 托盘座板定位编号贴
托盘存储箱定位导轨
＜存储箱（TR6DNR/6DNX/6DNV 用）＞
托盘存储箱主体 托盘座板定位导轨
存储箱把手 存储箱拉出把手
安全门（用于防止托盘座板滑出） 存储箱固定托架