Panasonic_NPM-GH_NPM-GW贴装头与机架XY结构专利深度解读_CFRP梁旋转头真空推力限制减振.pdf - 第7页

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[更轻多轴头 + 侧视/随轴相机 + 阀组]

│ 惯性、偏心、气路冲击

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[金属管梁 + CFRP 密着内衬] ──高刚/轻量──► 提高可达到的加减速

│ 残余模态仍在

▼

[US9525378 振动抑制 + 预畸变自适应] ──不靠一味降增益──► 定位整定

│

▼

[推力限制贴装] ──接触相低载──► 板翘/冲击不毁掉精密定位成果

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