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CONTENTS Fig. E1 バッドマーク検出（センサ方式） BAD BOARD REJECT FUNCTION Fig. E1-4 X ビームユニット X Beam Unit 1003-001 Fig. E1
MEMO
CONTENTS
Fig. E1
バッドマーク検出（センサ方式）
BAD BOARD REJECT
FUNCTION
Fig. E1-4 X
ビームユニット
X Beam Unit
1003-001
Fig. E1
D
C
(BASE:Document No.P-309-00X or P-310-00X
UNIT-4 Fig.E1-4)
C
D
373
368
366
372
381
384
385
364
371
364
363
386
380
384
385
365
362
374
Fig. E1-4 X
ビームユニット
X Beam Unit
1003-001
Fig. E1
バッドマーク検出（センサ方式）
BAD BOARD REJECT FUNCTION