N7202A029B40_SPG_Parts List.pdf - 第281页

10 基板反り矯正ユニット:SPG ｲﾗｽﾄ No. 品名 品番 数量 パーツリスト キット品番 キット名称 備考 セクションNo. - - ( KN6101 40141AA-0 4 )

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10
基板反り矯正ユニット:SPG
パーツレイアウト
キット品番
キット名称
セクションNo.
--
( KN610140141AA-04 )
10
基板反り矯正ユニット:SPG
ｲﾗｽﾄ
No.
品名品番 数量
パーツリスト
キット品番
キット名称
備考
セクションNo.
--
( KN610140141AA-04 )
11
マスク自動位置決め部:SPG
Mask Auto Positioning:SPG
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610140143AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O27
(KN610140143AA-03)