HT121 (Mechanical20111025).pdf - 第61页

PART No. ｲﾗｽﾄ No. REF No. PART NAME REMARKS Q'TY 2 ｶﾊﾞｰ部(Z 軸安全BOX8) COVER SECT. (Z-AXIS SAFETY BOX-8) 部 品 名 品 番 個数 備 考 R 1 R 2 1 27 108115200803 COVER ｶﾊ ﾞｰ 2 28 1081152009 PLATE ﾌﾟﾚｰﾄ 1 29 108115201001 COVER ｶﾊﾞｰ 1…

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ｶﾊﾞｰ部(Z軸安全BOX8)
COVER SECT.(Z-AXIS SAFETY BOX-8)
2
F10811-51-000-AL-8
M39
PART No.
ｲﾗｽﾄ
No.
REF
No.
　　　
　　　　　　　　　 PART NAME
　　　 REMARKS　
Q'TY
2
ｶﾊﾞｰ部(Z軸安全BOX8)
COVER SECT.(Z-AXIS SAFETY BOX-8)
部 品 名 品　 番 個数
備 考
R
1
R
2
127 108115200803
COVER ｶﾊ
ﾞｰ
2
28 1081152009
PLATE ﾌﾟﾚｰﾄ
1
29 108115201001
COVER ｶﾊﾞｰ
184 108115207003
COVER ｶﾊ
ﾞｰ
M5X8,+,STEEL,Z.C.T
24N 1 XST5+8FY
TRUSS HEAD SCREW ﾄﾗｽｺﾈｼ
ﾞ
5,B-TYPE,STEEL,Z.C.T
24
N 2 XWC5BFY
TOOTHED LOCK WASHER ﾊﾂｷｻﾞｶﾞﾈ
4715KL-05W-B20-P00 S
2
N 7 N2384715-093
FAN WITH MOTOR ﾌｧﾝﾓｰﾀ
PG-47-02(8130)
4N 8 N238PG47-091
COVER(FAN) ｶﾊ
ﾞｰ(ﾌｧﾝ)
M4X50,+,STEEL,Z.C.T
4N 9 XST4+50FY
TRUSS HEAD SCREW ﾄﾗｽｺﾈｼ
ﾞ
C-30-SG-30A
1
N24 N980C30SG30A
GROMMET ｸﾞﾛﾒｯﾄ
M40
F10811-51-000-AL-8
X-Yﾃｰﾌﾞﾙ部(基板搬送部1)
X-Y TABLE SECT.(P.C.B.TRANSFER SECT.-1)
3
F10811-04-100-AK-1
M41