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193-41 10 JUKYX 1-13 : ダフニーグリース MP No.1 : ダフニーエポネックスグリース No.3 : モリノックグリース AP1 注 意 …
193-4110
JUKYX
1-12
ドレ ーン 清掃 ----- 容器
認識マーク 清掃 ----- レンズクリー ナクロス
フィーダベース上面溝 清掃 ----- 掃除機
カッタボックス内 清掃 ----- 掃除機
吸 着ノズル 清掃 ----- レンズクリー ナクロス 、
エアガ ン、 ウエス
ノズ ル フィル タ 交換 ----- フィル タ 挿 入 治 具 ( 高 速 )
フィルタ挿入治具(中異形 )
フィル タ 抜 取 り 治 具
吸 着ノズル 清掃 ----- レンズクリー ナクロス 、
エアガ ン、 ウエス
バックアップ テ ーブル上
面
清掃 ----- 掃除機
バックアップ ピ ン 検 出
センサ
清掃 ----- ウエス
基 板検 出 セン サ、
基 板 検 出 セン サファイ
バー
清掃 ----- ウエス
: モリノックグリース AP1
教 示プ レ ート 清掃 ----- ウエス
Q F P ガラス治 具 清掃 ----- レンズクリー ナクロス
拡散板 清掃 ----- レンズクリー ナクロス
ノズル 収 納 部 清掃 ----- 掃除機
ノズル 収 納 部 清掃 ----- 掃除機
カムフォロア 清掃
給油
NM1
193-4110
JUKYX
1-13
: ダフニーグリース MP No.1
: ダフニーエポネックスグリース No.3
: モリノックグリース AP1
注
意
フィル タ 清掃 -----
エアーフィルタケース
治具
フィル タ 清掃 -----
ウォームギア 給油 NM1
リニアガイド 給油 MP1
ニードル ベ アリング 給油 MP1
ノズル上下
ボールネジ ( N L 軸 )
清掃、給油 MP1
ヘッド上下 ボ ール ネ ジ
(HL 軸 )
清掃、給油 MP1
ヘッド上下リニアガイド
(HL 軸 )
清掃、給油 MP1
センタスプライン 給油 MP1
カムフォロア 清掃、給油 MP1
ノズル 切 替え カム面
( 上面 )
清掃、給油 MP1
真 空 フィル タ 交換 -----
吸 着ノズル 点検 -----
ボールネジ
（3 か所）
給油 MP1
リニアガイド
（3 か所）
給油 MP1
真 空 フィル タ 交換 ----- フィル タ 着 脱 治 具
受け皿 清掃 -----
吸 着ノズル 点検 -----
* X 軸リニアガイド 清掃、給油 MP1
* Y 軸リニアガイド 清掃、給油 MP1
X 軸ボールネジ 清掃、給油 DE3
* ボールネジ 清掃、給油 MP1
ボ ール ブッシュ 清掃、給油 MP1
* リニアガイド 清掃、給油 MP1
ボールネジ 清掃、給油 MP1
193-4110
JUKYX
1-14
ノズ ルストッカ 摺 動 部
清掃、給油 MP1
油ウエス
シャッタフランジピン
摺動部
清掃、給油 NM1
ノズ ルストッカ 摺 動 部 清掃、給油 MP1 油ウエス
シャッタフランジピン
摺動部
清掃、給油 NM1
フィル タ 清掃 -----
排 気ファン 清掃 -----
吸 気 ファン 清掃 -----
: バリエルタ IEL/V
X 軸 ケーブル 側 面 清掃、給油 IEL/V 油ウエス、ハケ
X 軸ケーブル 固定 か 所 点検 ----- -----
X 軸リニアスケール 清掃 ----- ウエス
Y 軸ケ ーブル 側 面 清掃、給油 IEL/V 油ウエス、ハケ
Y 軸ケ ーブル 固 定 か 所 点検 ----- -----
Y 軸リニアスケ ール 清掃 ----- ウエス
フッ 素 シ ート 交換 ----- ドライバ 、 レン チ
ウレタンクラン プ A s s y 交換 ----- ド ライバ 、 レン チ
フ ラットリング 交換 ----- ドライバ 、 レン チ、
トル クド ライバ