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FCS 使用说明书 38 第 3 章 故障分析 本章对精度调整 的结果达 不到判定值 标准时的 处理方法进 行说明。 3-1 各 种具体情况下的 修正和调整 3-1- 1 精度调整的结果 达不到判定 值标准时 (激光) 当再次执行精度 调整后, 激光定心测 定结果的 CPK 值仍达不到 判定值标 准范围时,请按 下述 “ 3- 2 基 本偏移量调整 ”说明 对装置的状态 进行校准 。 根据 校准结果 ① 参照“ 3-2 基本偏移量调整”…

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2-2-8 确认测量结果
结束 FCS 生产(测量)后,确认测量结果。
确认的结果,可作为判断是否需要调整的参考数据。
<激光定心时>
请确认所有 Head 的 3σ值 (X、Y、A)。
所有 Head 的 CPK 值如果在《表 2-14 贴装精度的判定值》的判定值以上,可判断为贴装精度良好。
如果所有 Head 的 CPK 值在判定值以下时,则请擦干净 FCS 模具芯片 B、吸嘴 (7506)、模具基板
等后,再次执行精度确认。
如果再次确认的结果 CPK 值仍不在判定值以上时,请执行激光精度调整 (重新取得贴片综合偏移量)。
表 2-14 贴装精度判定值(激光定心、确认精度参考值)*(注 1)
0603C 芯片 FCS 模具芯片 B
XY(3σ)*(注 2)
0.050[mm]以下 0.050[mm]以下
θ(3σ) *(注 2)
2.500[°]以下 0.300[°]以下
XY(CPK)
1. 00 以上
θ(3σ)
1.00 以下
<视图定心时>
视图定心时,要确认各 Head 的最大/最小值(X、Y、A)。
如果最大、最小值在《表 2-15 贴装精度的判定值(视图定心、确认精度参考值)》范围内时,可判
断为贴装精度良好。
如果最大、最小值为超出判定值范围时,请擦干净校准片 G、吸嘴(7508) 、模具基板、VCS 玻璃罩
等,再次确认精度。
若再次确认的结果仍超出最大、最小值的有效范围时,请执行 VCS 的[调整精度](重新取得贴片综合
偏移量)。
表 2-15 贴装精度的判定值(视图定心、确认精度参考值) *(注 1)
XY(最大~最小值) -0.030~0.030[mm]
θ(最大~最小值) -0.200~0.200[°]
注1) 不包括单头的精度。
注2)
3σ值为参考值。

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3-2 基本偏移量调整
在基本偏移量调整中能够设置的项目如下表所示。
表
3-1
基本偏移量调整的设置项目
No.
项目
设置的内容
1
FCS基本偏移量调整 “1. OCC偏移量”
“2. 吸嘴旋转中心”
“3. Head偏移量”
“4. 调整VCS摄像机偏差
“5. VCS复合识别偏移量
* 注: 各偏移量的取得一定要按表中的顺序进行。
(具体请参照“(2)
偏移量参数的依赖关系”。)
如果搞错顺序,不能保证精度。
基本偏移量调整,需要取得构成偏移量的各项偏移量,执行相应的取得操作。
在[FCS设置]画面上按下[基本偏移量调整]按钮,会显示[基本偏移量调整]画面。
图
3-1 FCS
设置
图
3-2
基本偏移量调整画面
