D3Parts List__N7202A043B.pdf - 第174页

26 キットレイアウト KIT LAYOUT - - U51 ( KEJM6DS-37-26 )

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25
キットリスト
KIT LIST
Kit Name
番号
Part No.
キット名
品　　番
No.
RankQ'ty
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
89
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
1
O309
90
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
1
O329
91
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
1
O331
92
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
1
O333
93
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
1
O335
U50
--
( KEJM6DS-37-25 )
26
キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U51
( KEJM6DS-37-26 )
26
キットリスト
KIT LIST
Kit Name
番号
Part No.
キット名
品　　番
No.
RankQ'ty
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
94
N610076379AA
MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
1
O337
95
N610081724AA
Standard Calibration Jig Kit:NPM
標準キャリブレーションジグキット:NPM
1
O339
96
N610102523AA
Standard Calibration Jig Case:NPM
標準キャリブレーションジグ用ケース:NPM
1
O343
97
N610131603AA
Machine Adjustment Jig Kit(Common Set):NPM
本体調整用ジグキット(共通部):NPM
1
O345
98
N610112814AC
XY Plane Calibration Jig:NPM-D
面補正ジグ:NPM-D
1
O347
99
N610133833AA
Machine Adjustment Jig Case:NPM
本体調整用ジグ用ケース:NPM
1
O349
100
N610146224AA
Accuracy Verification Jig Kit:NPM
精度検証用ジグキット:NPM
1
O351
101
N610102525AB
Accuracy Verification Jig Case:NPM
精度検証用ジグ用ケース:NPM
1
O355
102
N610102524AA
Pick-Up Height Teach Jig Case:NPM
吸着高さティーチジグ用ケース:NPM
1
O357
103
N610122649AA
Hight Sensor & Mount Hight Teach Jig Set:NPM
高さセンサ&装着高さティーチ治具セット:NPM
1
O359
U52
--
( KEJM6DS-37-26 )