YG200_200L_K.pdf - 第79页
3-2 3 2 �…

3-1
3
1
[기판선택] 버튼
기판명의 선택
등록되어있는 기판데이터 리스트에서부터 선택한다
선택된 기판명이 표시된다
283 0 0-M2- 00

3-2
3
2
[장치] -「컨베이어」 화면
283 01-M2- 0 0
3
3
4
1 2
「셋업」화면
283 0 2-M 2- 00

3-3
3
c
4
운전속도를 설정한다
운전속도의 설정
283 0 3 -M 2 -00
5
w