CPM9145100_YSi-V_ Operators_C.pdf - 第54页
3-3 3 3. 基板的选择 从已创建的检查程序 ( 基板程序 ) 列表中选择准备检查的基板。 1 从检查程序列表中选择准备检查的基板。 选择“基板切换”画面程序列表中的基板之后，按 [ 读入程序 ] 按钮。也可以直接用鼠标双击程序列表内 的行来读入基板程序。 c 注意 读入基板程序之后，检查机会自动按照基板宽度 ( 基板 Y 尺寸 ) 调节传送宽度，因此务必预先取出顶针。 基板切换画面 Step 1 读入后显示所选基板的名称 显…
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2.暖机运行
启动检查机之后，进行暖机运行。
n
要点
暖机运行的时间为 15 分钟左右。但，如果完成上次生产 2 小时之内再开机时，可以省略暖机运行。
1
启动机器。
完成作业前的点检之后，启动机器。
关于作业前的点检项目与开机的方法，请参照第 2 章“基本操作”。
2
开始暖机运行。
c
注意
开始暖机运行之前，请务必确认传送轨上没有基板。如果使用了顶针，也务必取出。暖机运行过程中，如果发生异常，必须按 [ 停止 ]
按钮中断运行，并查明原因进行解决。
1. 按 [ 暖机运行 ] 按钮，打开暖机运行画面。
2. 按 [ 开始 ] 按钮，开始暖机运行。
基板切换画面
暖机运行
Step2
26300-M9-00
n
要点
想要指定暖机时间时，按 [ 定时暖机 ] 按钮后输入暖机运行的时间。
3
结束暖机运行。
按 [ 停止 ] 按钮，结束暖机运行。暖机运行只需 15 分钟左右即可。
4
按 [ 关闭 ] 按钮，返回“基板切换”画面。
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3.基板的选择
从已创建的检查程序 ( 基板程序 ) 列表中选择准备检查的基板。
1
从检查程序列表中选择准备检查的基板。
选择“基板切换”画面程序列表中的基板之后，按 [ 读入程序 ] 按钮。也可以直接用鼠标双击程序列表内
的行来读入基板程序。
c
注意
读入基板程序之后，检查机会自动按照基板宽度 ( 基板 Y 尺寸 ) 调节传送宽度，因此务必预先取出顶针。
基板切换画面
Step 1
读入后显示所选基板的名称
显示所选基板的
示意图
26301-M9-00
2
确认读入的基板程序。
确认状态栏里显示的基板程序是否与所选的基板程序名、基板示意图一致。
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4.传送装置的调节
支撑基板使用了顶针时，如果检查与前次不同的基板，必须调节传送宽度并切换顶针。传送宽度，在读入基板程
序后会自动调节。下面，介绍排列顶针、确认基板支撑状态的步骤。
n
要点
要使用顶针，必须按 [ 数据编辑 ] 按钮，将“基板”选项卡中的“顶针”设置为“标准速度”或“以高速”，否则顶针无法使用。
e
1
按紧急停机按钮后，打开安全机盖。
2
取出顶针。
为支撑将要检查的基板，取出顶板上的顶针。
3
调节顶针的高度。
根据基板的厚度，转动支撑螺杆调节顶针的高度。
单轨与双轨使用的顶针高度不同。
‧
单轨用顶针高度 ：140mm －基板厚度
‧
双轨用顶针高度 ：76mm －基板厚度
顶针
调节高度
76 mm
140 mm
基板面
支撑螺杆
■ 单轨用
■ 双轨用
基板面
磁座
磁座
顶板面
顶板面
支撑螺杆
25301-M9-00
4
关闭安全机盖，解除紧急停机状态。
将紧急停机按钮向右旋转，解除紧急停机状态之后，按 [READY] 按钮。
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选择基板。
选择准备检查的基板。