Rehm Maintenance Schedule SOP VXP Vac 20161116.pdf - 第51页
Page 51 Rehm VXP+ V ac 维护 保养过 程 维护 保养过 程 维护 保养过 程 维护 保养过 程 • 检查清洁调宽机构丝杆 • 检查真空腔内光电开关穿透玻璃镜片， • 每周检查如有需要拆下 Holder 使用 CF 1 及无尘纸浸泡及 清洁镜 片，去除镜片表面附着 Flux 及其他异物
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
真空腔维护保养
真空腔维护保养真空腔维护保养
真空腔维护保养
• 真空腔体上盖拆卸
• 打开炉膛，把真空腔上盖升至 Service （最高点）位置，使用推车
(选项) 拆下真空腔上盖
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
• 检查清洁调宽机构丝杆
• 检查真空腔内光电开关穿透玻璃镜片，
• 每周检查如有需要拆下 Holder 使用 CF 1 及无尘纸浸泡及 清洁镜
片，去除镜片表面附着 Flux 及其他异物
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Rehm VXP+ Vac 维护保养过程
维护保养过程维护保养过程
维护保养过程
• 检查镜片上下表面 O-Ring 是否老化硬化失去密封效果，如有需要更
换新品，每季度需更换
• 清洁完装回，确认光电开关信号显示正常。确认镜片是清洁的，如
有必要 Tech 炉膛底部光电开关，使其信号显示正常