TM1790_巜帵摂儕儕乕僗僲乕僩揧晅帒椏.pdf - 第5页
項番 メッセー メッセー メッセー メッセー ジ ジ ジ ジ 番号 番号 番号 番号 メッセージ メッセージ メッセージ メッセージ 概要 概要 概要 概要 V3.11STD V3.11STD V3.11STD V3.11STD R R R R 1 1 1 1 . . . . 00 0 000 000 000 未 満 未満 未満 未満 V3.11STD V3.11STD V3.11STD V3.11STD R R R R 1…

項番
メッセー
メッセーメッセー
メッセー
ジ
ジジ
ジ番号
番号番号
番号
メッセージ
メッセージメッセージ
メッセージ概要
概要概要
概要
V3.11STD
V3.11STDV3.11STD
V3.11STD
R
RR
R1
11
1.
..
.000
000000
000未満
未満未満
未満
V3.11STD
V3.11STDV3.11STD
V3.11STD
R
RR
R1
11
1.
..
.000
000000
000以降
以降以降
以降
64 302
トレイチェンジャーエラー ● ●
65 306
トレイチェンジャーエラー ●
66 307
トレイチェンジャーエラー ●
67 308
トレイチェンジャーエラー ●
68 363
代替部品部品切れエラー ● ●
69 365
代替部品部品切れエラー ● ●
70 366
トレイチェンジャーエラー ●
71 368
パレット番号エラー ●
72 372
トレイチェンジャーエラー ●
73 379
トレイチェンジャーエラー ●
74 930
ノズル汚れ検出エラー ● ●
75 931
部品立ち検出エラー ● ●
76 932
部品厚み不足エラー ● ●
77 933
サイドビューカメラ部品認識エラー ● ●
78 934
マルチカメラ部品認識エラー ● ●
79 938
サイドビューカメラ設定エラー ●
80 940
サイドビューカメラ認識部品サイズエラー ●
81 941
サイドビューカメラ認識部品厚みエラー ●
82 942
サイドビューカメラノズル形状エラー ●
83 943
サイドビューカメラ認識部品厚み公差範囲エラー ●
84 944
サイドビューカメラ搭載後部品持ち帰りエラー ●
85 945
サイドビューカメラ廃棄後部品持ち帰りエラー ●
86 946
サイドビューカメラリトライ動作未設定エラー ●
87 947
[実装後停止]コマンドにより運転停止しました. ●
88 948
実装終了基板の確認 ●
89 949
部品廃棄キャンセル ●
90 950
サイドビュータイムアウトエラー ●
91 951
サイドビューカメラ認識部品ひっくり返りエラー ● ●
92 952
サイドビューカメラ認識部品サイズエラー ● ●
93 953
部品吸着エラー ● ●
94 954
部品吸着エラー ● ●
95 955
部品吸着エラー ● ●
96 956
部品吸着エラー ● ●
97 1364
トレイ部品エラー ●
98 2877
荷重制御タイムアウトエラー ●
99 2878
荷重制御タイムアウトエラー ●
100 2879
荷重制御タイムアウトエラー ●
101 2880
荷重制御タイムアウトエラー ●
102 2881
荷重制御タイムアウトエラー ●
103 2889
吸着動作中の非常停止 ●
104 2926
荷重制御タイムアウトエラー ●
105 3040
部品切れカウントの確認 ●
106 3042
部品切れの確認 ●
107 3043
警告:段取り/架け替えチェック未了 ●
108 3046
段取り/架け替え情報が一致しません. ●
109 3049
部品切れの確認 ●
110 3506
ウェハーバッドマークカウントオーバー ●
111 3507
ウェハー部品認識カウントオーバー ●
112 3508
ウェハー部品切れです. ●
113 3510
ウェハートレイチェンジャーエラー ●
114 3515
ウェハー部品切れです. ●
115 3518
ウェハートレイチェンジャーエラー ●
116 3523
ウェハートレイチェンジャーエラー ●
117 3525
ウェハートレイチェンジャーエラー ●
118 3542
ウェハートレイチェンジャーエラー ●
119 3714
ウェハーマップエラー ●
120 3715
ウェハーマップエラー ●
121 3716
ウェハーマップエラー ●
122 3717
ウェハーマップエラー ●
123 3724
ウェハー認識エラー ●
124 3725
ウェハー認識エラー ●
125 3910
部品データエラー ●
126 3919
吸着位置座標干渉エラー ●
127 3952
下記部品情報にフィーダピッチが設定されていません ●
128 3955
生産に使用するフィーダが取り付いていません ●
129 3956
部品情報と異なるフィーダタイプのフィーダが取りついています ●
130 12757
廃棄ステーションの設定を確認してください ●
131 20162
部品供給ミス(セット方向/極性違い) ●
132 20247
ATS部品供給方向チェックリトライオーバー ●
133 20530
部品寿命管理エラー ●
134 20628
マーク未検出エラー ●
135 25142
残数警告 ●
MDOC-SOFT50053 3/5

項番
メッセー
メッセーメッセー
メッセー
ジ
ジジ
ジ番号
番号番号
番号
メッセージ
メッセージメッセージ
メッセージ概要
概要概要
概要
V3.11STD
V3.11STDV3.11STD
V3.11STD
R
RR
R1
11
1.
..
.000
000000
000未満
未満未満
未満
V3.11STD
V3.11STDV3.11STD
V3.11STD
R
RR
R1
11
1.
..
.000
000000
000以降
以降以降
以降
136 25143
残数警告 ●
137 25144
部品残数停止 ● ●
138 25145
部品残数停止 ● ●
139 25146
代替部品切れ警告 ●
140 25147
代替部品切れ警告 ●
141 25148
部品残数停止 ● ●
142 25149
部品残数停止 ● ●
143 25150
部品段取り未完了 ●
144 25151
部品段取り未完了 ●
145 25153
リール/スティック/トレイ-フィーダー/パレット<br/>リンク切断エラー ●
146 25154
フィーダー/パレット-台車/マガジン<br/>リンク接続エラー ●
147 25155
フィーダー/パレット-台車/マガジン<br/>リンク切断エラー ●
148 25201
台車段取り ● ●
149 25202
部品段取り ● ●
150 25203
部品段取り ● ●
151 25204
フィーダー確認 ● ●
152 25205
部品段取り ● ●
153 25207
部品交換 ● ●
154 25209
干渉部品 ● ●
155 25214
残数停止 ● ●
156 25215
マガジン段取りAuto.TC ● ●
157 25216
トレイ部品段取りAuto.TC ● ●
158 25217
トレイ部品段取りAuto.TC ● ●
159 25218
トレイ確認Auto.TC ● ●
160 25219
トレイ部品段取りAuto.TC ● ●
161 25221
トレイ部品交換Auto.TC ● ●
162 25227
残数停止Auto.TC ● ●
163 25228
マガジン段取りExt.TC ● ●
164 25229
トレイ部品段取りExt.TC ● ●
165 25230
トレイ部品段取りExt.TC ● ●
166 25231
トレイ確認Ext.TC ● ●
167 25232
トレイ部品段取りExt.TC ● ●
168 25234
トレイ部品交換Ext.TC ● ●
169 25240
残数停止Ext.TC ● ●
170 25500
部品残数停止 ● ●
171 25501
部品入り数エラー ●
172 25504
代替部品切れ警告 ●
173 25516
フィーダー/パレット取付位置エラー ●
174 25520
部品残数が不足 ●
175 25533
後側部品が使用できない状態 ●
176 25534
つなぎ目検出エラー ● ●
177 25577
つなぎ目検出エラー ●
178 25579
つなぎ目確認 ●
179 25580
段取り部品エラー ●
180 25581
部品段取り未完了 ●
181 29040
外部トレイチェンジャー部品未補充警告 ●
182 29041
外部トレイチェンジャー部品未補充警告 ●
183 29042
自動トレイチェンジャー部品未補充警告 ●
184 29043
自動トレイチェンジャー部品未補充警告 ●
185 29051
外部トレイチェンジャーパレット格納エラー ●
186 29053
外部トレイチェンジャーパレットセットエラー ●
187 29055
外部トレイチェンジャーパレット格納エラー ●
188 29057
外部トレイチェンジャーパレットセットエラー ●
189 29060
自動トレイチェンジャーパレット格納エラー ●
190 29061
外部トレイチェンジャーパレット格納エラー ●
191 29063
外部トレイチェンジャーパレット格納エラー ●
192 29064
自動トレイチェンジャーパレットセットエラー ●
193 29065
外部トレイチェンジャーパレットセットエラー ●
194 29067
外部トレイチェンジャーパレットセットエラー ●
195 29068
自動トレイチェンジャーパレットセットエラー ●
196 29073
外部トレイチェンジャーパレットセットエラー ●
197 29074
外部トレイチェンジャーパレットセットエラー ●
198 29076
自動トレイパレット格納失敗 ●
199 29080
自動トレイチェンジャー部品切れエラー ● ●
200 29081
外部トレイチェンジャー部品切れエラー ● ●
201 29082
自動トレイチェンジャー部品切れエラー ● ●
202 29083
外部トレイチェンジャー部品切れエラー ● ●
203 29084
自動トレイチェンジャードアオープンエラー ● ●
204 29085
外部トレイチェンジャードアオープンエラー ● ●
205 29086
自動トレイチェンジャー部品切れエラー ● ●
206 29087
外部トレイチェンジャー部品切れエラー ● ●
207 29088
自動トレイチェンジャー供給装置動作確認 ●
MDOC-SOFT50053 4/5

項番
メッセー
メッセーメッセー
メッセー
ジ
ジジ
ジ番号
番号番号
番号
メッセージ
メッセージメッセージ
メッセージ概要
概要概要
概要
V3.11STD
V3.11STDV3.11STD
V3.11STD
R
RR
R1
11
1.
..
.000
000000
000未満
未満未満
未満
V3.11STD
V3.11STDV3.11STD
V3.11STD
R
RR
R1
11
1.
..
.000
000000
000以降
以降以降
以降
208 29089
自動トレイチェンジャー部品切れ停止 ● ●
209 29090
外部トレイチェンジャー部品切れ停止 ● ●
210 29091
代替部品同時移行部品切れエラー ●
211 29100
自動トレイチェンジャーパレットセットエラー ●
212 29104
自動トレイチェンジャーパレット引出し失敗 ●
213 29180
自動トレイチェンジャー吸着エラー ● ●
214 29181
外部トレイチェンジャー吸着エラー ● ●
215 29183
外部トレイチェンジャー部品供給エラー ●
216 29184
外部トレイチェンジャー部品供給エラー ●
217 29186
外部トレイチェンジャー部品供給エラー ●
218 29187
外部トレイチェンジャー部品供給エラー ●
219 29191
自動トレイチェンジャー吸着エラー ● ●
220 29192
外部トレイチェンジャー吸着エラー ● ●
221 29196
自動トレイチェンジャーパレット不整合エラー ●
222 29210
自動トレイチェンジャータイムアウトエラー ●
223 30100
フィーダ送り未完了エラー ●
224 30101
フィーダが検出できません ●
225 30102
フィーダエラー状態<br/> ●
226 30103
フィーダコマンド実行エラー ●
227 30104
フィーダコマンド実行エラー ●
228 30106
フィーダ台車接続確認エラー ●
229 30107
フィーダ台車コマンド実行エラー ●
230 30108
フィーダ台車通信エラー ●
231 30109
フィーダ駆動時内部エラー ●
232 30110
フィーダ駆動時内部エラー ●
233 30113
フィーダがビジー状態です ●
234 30115
コマンド書き込み時通信エラー ●
235 30117
コマンド応答待機時通信エラー ●
236 30118
フィーダー駆動エラー ●
237 30119
フィーダー駆動エラー ●
238 30120
フィーダデータ読み込みエラー ●
239 30122
下記フィーダにフィーダピッチが設定されていません ●
240 30123
このフィーダタイプでは選択できないフィーダピッチです ●
241 30124
フィーダーROM内ピッチ異常 ●
242 30125
フィーダーROM内ピッチ情報チェック実行エラー ●
243 30126
フィーダー駆動ボタンの操作無効状態への変更に失敗しました ●
244 30127
フィーダー駆動ボタンの操作有効状態への変更に失敗しました ●
245 30128
フィーダー駆動回数書込みエラー ●
246 30129
インジケータ更新エラー ●
247 30130
インジケータ更新エラー ●
248 30131
フィーダー動作モード取得エラー ●
249 30132
フィーダーID取得エラー ●
250 30133
フィーダーメカバージョン取得エラー ●
251 30134
フィーダーソフトバージョン取得エラー ●
252 30135
フィーダー駆動回数取得エラー ●
253 30136
フィーダーピッチ取得エラー ●
254 30137
フィーダーピッチ設定エラー ●
255 30138
フィーダー動作時ピッチ設定エラー ●
256 30139
フィーダー駆動ボタンの操作無効状態への変更に失敗しました ●
257 30140
フィーダー駆動回数記録エラー ●
MDOC-SOFT50053 5/5