TR7700_SII_Maintenance_ch-v2.51_20120307.pdf - 第42页
Test Research Inc. 38 TR 7530 User Guide – Maintena nce 6.4.5 軌道清潔潤滑步驟 Step1 用乾淨、不會殘留棉絮的軟布將滑軌上舊油擦拭乾淨。 Step2 如下圖所示,在各注油口,注入適當量的軌道潤滑專用油。 圖 48 : 注油保養 Step3 注油完成後,用手推 X-Y Table ,讓滑塊在全行程內滑動 2-3 次,使軌 道上塗佈 一層油膜防銹。 Step4 軌道最前端與最…

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Step3 工具安裝完成
圖 46: 工具組裝完成圖
Step4 將注油軟管連結起來
圖 47: 工具組裝—連接注油軟管

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38 TR7530 User Guide –Maintenance
6.4.5 軌道清潔潤滑步驟
Step1 用乾淨、不會殘留棉絮的軟布將滑軌上舊油擦拭乾淨。
Step2 如下圖所示,在各注油口,注入適當量的軌道潤滑專用油。
圖 48: 注油保養
Step3 注油完成後,用手推 X-Y Table,讓滑塊在全行程內滑動 2-3 次,使軌道上塗佈
一層油膜防銹。
Step4 軌道最前端與最後端,滑塊行程無法到達的地方,用乾淨、不會殘留棉絮的軟
布塗上一層軌道潤滑專用油防銹

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7 年度保養
年度保養作業需對光學系統進行調整確認,此作業需經 TRI 訓練合格之工程人員依光
學校驗程序執行,不於此保養說明詳述,請洽 TRI 各據點工程人員。
機台移動可能會造成系統誤差,若移機後,請洽 TRI 進行光學校正。