TR7710_Maintenance_ch-v1.0_20141110.pdf - 第29页

Test Resear ch, Inc. TR7710 User Guide – Mainten ance 25 圖 29 : XY 移動平 台清潔 5.1.4 光學尺清潔 光學尺位於軌道附近, 請確認光學尺是否保持清 潔。如有髒汙,請用乾淨、 不會殘留棉絮的軟 布,沾取酒精後,沿單 一方向輕輕擦拭光學尺 即可。 如下圖為下圖 為 X 滑軌示意圖,光學尺 黏貼於 X 滑軌下方。 注意 : 請勿以防鏽油、清 潔劑擦拭。 圖 30 : 光學…

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28:皮帶從動輪清潔
5.1.3 XY 移動平台清潔
針對 XY 移動平台清潔保養時,請開啟機台上方的前後門進行。開啟前後門後可請確認中間 X
方向、兩側 Y方向軌道,以及後方排線帶是否有異物、雜物或髒污問題。請每月檢查並保持
清潔,以避免異物、髒汙影響 XY移動平台移動順暢。
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29: XY 移動平台清潔
5.1.4 光學尺清潔
光學尺位於軌道附近,請確認光學尺是否保持清潔。如有髒汙,請用乾淨、不會殘留棉絮的軟
布,沾取酒精後,沿單一方向輕輕擦拭光學尺即可。如下圖為下圖 X 滑軌示意圖,光學尺
黏貼於 X 滑軌下方。
注意請勿以防鏽油、清潔劑擦拭。
30: 光學尺清潔
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5.2 機台外部
5.2.1 機台左右側及背面風扇清潔
關閉電源,使用氣槍或刷子清潔機台左右側三組風扇及背面四組風扇。
31: 機台左右側風扇清