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Rev. 1.0 安装要领书 3-3. 基板的传送 请取下传送轨道中央部的气泡包装材料。 图 3-3-1 5
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3-2. 安全防护罩
请揭下安全防护罩 F 和安全防护罩 R 上贴的纤维丝带。
纤维丝带
主机
防护罩 F
防护罩 R
图 3-2-1
注意
打开包装后，千万别在装置上面放置重物。
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3-3. 基板的传送
请取下传送轨道中央部的气泡包装材料。
图 3-3-1
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4. 基板传送高度和水平的调整
4-1. 水平调整
正面
图 4-1-1
底面图
１） 卸下覆盖调节部分的护罩 FB（正面）和护罩
RB（背面），松开内六角螺栓（3 个）及调节
螺母。
２） 按①→③→②→④→①→的顺序可以很容易
地提升调节器的高度。
３） 调整前后方向的水平。将水平仪放在图 4-1-2
所示的位置上，上下移动调节器①②､③④进
行水准调整，参照附在包装箱内的水准设定
表，调整到该表设定值±1 刻度以内｡
※ 传送高度： H = 900mm （950mm: EN 规格时）
图 4-1-2
向左右方向调整时的水平仪位置
向前后方向调整时的水平仪位置
４） 调整左右方向的水平。将水平仪放在图
4-1-2 所示的位置上，上下移动调节器
①④､②③进行水准调整，参照附在包装箱
内的水准设定表，调整到该表设定值±1
刻度以内｡
５） 反复进行第 3､4 步操作，调整到左右方向
和前后方向所放的水平仪达到规格范围
内｡
（使用的水平仪
１Ｄｉｖ＝０．０５ｍｍ／Ｍ）
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