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QA表 ＮＯ． 1/ 2 机种 X轴 基准侧导轨的平直度：10 ㎛ 以内（目标为6 ㎛ 以下） 纵动侧导轨的平行度：10 ㎛ 以内（目标为6 ㎛ 以下） 1. 确认方法 （平直度测量） 在直线导向器的滑块上安装杠杆式千分表和直尺的上面相接触， 使直尺的两端为0，在各定位螺钉的位置进行测量，平直度要在0.01以内 （平行度测量） 在下侧的直线导向器块上安装千分表，和从动侧导轨相接触，在各定位螺钉的位置进行测量， 平行度要在0.01以内。另…
FX-3RA Rev 3.0
ＱＡ表
FX-3RA QA 表（专用部分）
章 项目 主要差别概述
1 XY 装置
・X_FRAME_S 等的货号已改变。
・L 规格的磁尺有改动，调整值已改变。
3 贴装头周围
・HMS 有改动，调整方法已改变。
4 OCC 透镜组
・OCC 照明组件有改动。调整方法已改变。
5 基板传送
・增加了与 VAC_CAL 装置相关的调整。
6 CAL 块
・L 规格用 CAL 块的货号已改变。
10 电气
・POWER_UNIT_ASSY 的货号已改变。
QA表 ＮＯ． 1/2
机种
X轴 基准侧导轨的平直度：10㎛以内（目标为6㎛以下）
纵动侧导轨的平行度：10㎛以内（目标为6㎛以下）
1. 确认方法
（平直度测量） 在直线导向器的滑块上安装杠杆式千分表和直尺的上面相接触，
使直尺的两端为0，在各定位螺钉的位置进行测量，平直度要在0.01以内
（平行度测量） 在下侧的直线导向器块上安装千分表，和从动侧导轨相接触，在各定位螺钉的位置进行测量，
平行度要在0.01以内。另外，两根导轨的宽度要在150±0.1mm以内。
平直度、平行度不仅影响X方向的贴装精度还影响导向器的寿命。 2.调整方法
（平直度） 拧松基准侧导轨的定位螺钉进行调整。
（平行度） 拧松从动侧导轨的定位螺钉进行调整。
1. 贴装精度的恶化
2. 吸附错误的发生
3. 因吸附不良而造成的触头站立，激光错误的发生
ＮＯ
①
② ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【1】－1
货号
预想故障（应规格调整值不良而发生的故障）
对象元件
品名 有关质量特性
LINEAR_GUIDE_X40046750
确认方法及调整方法（故障处理方法）
功能名称 X轴直线导向器的平直·平行（1/2）
FX-3RA 装置名称 XY装置（1）
变更履历
日期 内容
质量保证类别 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用（规格调整值的意义）
40122991 X_FRAME_S
直尺
基准侧导轨
X轴车架
从动侧导轨
150±0.1
平直度测量
平行度测量
QA表 ＮＯ． 2/2
机种
X轴 贴装头板前后方向的移动平直：30㎛以内
贴装头板高度方向的移动平直：20㎛以内
1. 确认方法
（前后方向） 在夹具用贴装头板差不多中央位置安装千分表，在贴装头板的行程全长（除去左右10mm）
的中间位置，相对于1型样板平尺平行度应在0.03以内。
前后方向的平直影响Y方向的贴装精度。 （高度方向） 在夹具用贴装头板差不多中央位置安装千分表，在贴装头板的行程全长（除去左右10mm）
高度方向的平直影响X方向的贴装精度。 的中间位置，相对于1型样板平尺两处平行度都应在0.02以内。
2. 调整方法
（前后方向） 因为无调整机构，对X轴车架，直线导向器X，背部导轨的零部件精度进行检测。
（高度方向） 把用于连接X车架末端和X轴车架的连接块的螺钉各拧松2根，调整X轴的整体倾斜度。
即使如此也无法解除时，检测直线导向器X的安装的平直。
1. 贴装精度的恶化
2. 吸附错误的发生
3. 因吸附不良而造成的触头站立，激光错误的发生
ＮＯ
①
② ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【1】－2
40046750 LINEAR_GUIDE_X
日期
40122991 X_FRAME_S
变更履历
预想故障（应规格调整值不良而发生的故障）
对象元件
货号 品名 有关质量特性
质量保证类别 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用（规格调整值的意义）
FX-3RA 装置名称 XY装置（1） 确认方法及调整方法（故障处理方法）
功能名称 X轴直线导向器的平直·平行（2/2）
内容
前后方向测量
高度方向测量