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M3 IIIc-BED 6/
M3 IIIc-ベッド 6/
2UGZBC000152
No. Drg.No. & Code No. QTY Description Rating Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名 規格 備考
142 2MGTBE012101 1 SHIM
シム
INT, t=2.0
143 2MGTBE012401 1 SHIM
シム
INT, t=2.0
144 2MGTBE012201 1 SHIM
シム
INT, t=2.5
145 2MGTBE012301 1 SHIM
シム
INT, t=2.5
146 K5357L 4 SCREW, HEX SOCKET COUNTERSUNK
小ネジ 六角穴皿
M03X006(3ｶ ｼﾛ)
147 K5357L 4 SCREW, HEX SOCKET COUNTERSUNK
小ネジ 六角穴皿
M03X006(3ｶ ｼﾛ)
148 K5357L 4 SCREW, HEX SOCKET COUNTERSUNK
小ネジ 六角穴皿
M03X006(3ｶ ｼﾛ)
160 2MGTBZ003002 1 TAPE, SEAL
テープ シール
161 2MGTBZ002900 1 TAPE, SEAL
テープ シール
175 H67175 1 BRUSH
ブラシ
LC6060-3PA GY 300R
118
PTS- NXT3c- 07
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PTS- NXT3c- 07
φ6
φ8 φ8
φ12
φ4
φ8
φ6
φ8
φ10
φ10
φ4
φ10
φ6
φ4
φ6
φ6
φ6
φ6
φ6
φ4
φ6φ6 φ6
φ12
φ4
φ4
φ6
集塵エアブローＯＮ
デバイスベース
残テープカッター
フィーダＯＰ用
マニホールド
ノズ ルチェンジ
バキュームバックアップピン
バキューム バックアップピン
オプション
正
負
ベース
（エア源）
負圧
φ12x2
正圧φ6
正圧φ10
Ｘスライド
Ｙ軸ケーブルベア
コンベア
正
負
D
E
C1
G
正圧
0．4ＭＰａ
負圧
−59ｋＰａ
Ｍ5
Ｍ5
1／4 1／4 1／41／8 1／8
1／81／81／81／8
AS1201F-M5-06-X229
イオナイザ
（デバイスベース部）
F1
F2
ＡＳ1201Ｆ−Ｍ5−06ＳＡ
ダクト
ＩＳＥ30Ａ
−Ｃ4Ｌ−Ｐ−ＭＬ
ＺＳＥ30Ａ
−Ｃ4Ｌ−Ｐ−ＭＬ
1／8
ＳＹＪ512Ｔ
−5ＭＯＺ−Ｍ5−Ｆ−Ｑ
ＳＹＪ512Ｔ
−5ＭＯＺ−Ｍ5−Ｆ−Ｑ
1／81／8
1／41／4
10
107
111
16 15
13
13
14 1820
22
23
11
101
132
44
109
110
43 42 41
19 17
24 24 24
27
29 19
334
424
27 27
104
102
115
103
114
105
25
1
7
8
108
151
5
9
112
21
5
21
71
72
26
26
28
28
106
112
113
131
6
201202
203
204
205
206
2UGZBC000152
M3 IIIc-BED 7/
0,,,F࣋ࢵࢻ
DUCT
DEVICE BASE
WASTE TAPE
FOR FEEDER OPTION
MANUHOLD
NOZZLE CHANGE
VACUUM BACK UP PINS (LANE1)
VACUUM BACK UP PINS (LANE2)
BASE
(AIR SOURCE)
X SLIDE
CONVEYOR
IONIZER
(ON DEVICE BASE)
PROCESSING UNIT
DUST COLLECT
AIR BLOW ON
Neg press
Pos press
Pos press
Y-AXIS FLEXIBLE TRACK
Neg press
Pos press
OPTION
Pos press
Neg press
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PTS- NXT3c- 07