NPM维护保养说明.pdf.pdf - 第509页
NPM-D 维修篇 11.6 真空传感器用过滤器的更换 (2 吸嘴头 ( 选购件 )) EJM1DC-MB-11M -00 Page 11-33 4 将主电源开关置于 OFF 。 5 取下过滤器。 ∗ 请使用六角扳手，将盖整个取下。 ∗ 在每个移载头上各安装了一个 ( 共 2 个 ) 真空传 感器。 6 清扫安装过滤器的部位。 ∗ 请使用棉棒清除残留在内部的脏污。 2 吸嘴头 真空传感器 盖 安装过滤器的部位
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维修篇
11.6
真空传感器用过滤器的更换
(2
吸嘴头
(
选购件
))
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11.6
真空传感器用过滤器的更换
(2
吸嘴头
(
选购件
))
使用工具
六角扳手
(
对边
2.5mm)
、棉棒
需要时间
[min]
5
通知
在进行此作业前，请务必阅读
“
关于直线马达的使用
”
。
过滤器的更换时间大约为一年。
(
根据使用条件而不同。
)
如果因过滤器堵塞而导致了传感器值降低，将会在监视器画面上显示更换过滤器的信息。请按照下
述步骤更换过滤器。
∗
这项作业时，前侧的
2
吸嘴头需从后侧、后侧的
2
吸嘴头需从前侧进行。
1
将伺服开关置于
OFF
。
2
打开安全盖。
3
将需要更换的吸嘴头的臂移动到相反
侧。
∗
在前侧实施作业时，请将前侧臂移动到后侧。
在后侧实施作业时，请将后侧臂移动到前侧。
∗
更换过滤器时，请注意不要给
X
轴的线性标尺
保护盖施加压力。
否则有可能会导致保护盖变形，而与线性标尺
读取头产生干涉。
线性标尺
保护盖
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真空传感器用过滤器的更换
(2
吸嘴头
(
选购件
))
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将主电源开关置于
OFF
。
5
取下过滤器。
∗
请使用六角扳手，将盖整个取下。
∗
在每个移载头上各安装了一个
(
共
2
个
)
真空传
感器。
6
清扫安装过滤器的部位。
∗
请使用棉棒清除残留在内部的脏污。
2
吸嘴头
真空传感器
盖
安装过滤器的部位
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真空传感器用过滤器的更换
(2
吸嘴头
(
选购件
))
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更换过滤器。
过滤器：
N510059196AA
∗ 更换过滤器后，请确认过滤器确实安装进盖内。
∗ 请确认盖、O 环是否发生劣化。如果发生劣化，
请更换。
盖：
N510059865AA
O
环：
N510060381AA
8
安装过滤器。
∗
安装之际，请使用六角扳手。
9
关闭安全盖。
10
将主电源开关置于
ON
。
11
将伺服开关置于
ON
。
O
环
盖
过滤器