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NPM-D 维修篇 11.6 真空传感器用过滤器的更换 (2 吸嘴头 ( 选购件 )) Page 11-34 EJM1DC-MB-11M-00 7 更换过滤器。 过滤器： N510059196AA ∗ 更换过滤器后， 请确认过滤器确实安装进 盖内。 ∗ 请确认盖、 O 环是否发生劣化。 如果发生劣化， 请更换。 盖： N510059865AA O 环： N510060381AA 8 安装过滤器。 ∗ 安装之际，请使用六角扳手。 9 关闭…
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维修篇
11.6
真空传感器用过滤器的更换
(2
吸嘴头
(
选购件
))
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将主电源开关置于
OFF
。
5
取下过滤器。
∗
请使用六角扳手，将盖整个取下。
∗
在每个移载头上各安装了一个
(
共
2
个
)
真空传
感器。
6
清扫安装过滤器的部位。
∗
请使用棉棒清除残留在内部的脏污。
2
吸嘴头
真空传感器
盖
安装过滤器的部位
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维修篇
11.6
真空传感器用过滤器的更换
(2
吸嘴头
(
选购件
))
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更换过滤器。
过滤器：
N510059196AA
∗ 更换过滤器后，请确认过滤器确实安装进盖内。
∗ 请确认盖、O 环是否发生劣化。如果发生劣化，
请更换。
盖：
N510059865AA
O
环：
N510060381AA
8
安装过滤器。
∗
安装之际，请使用六角扳手。
9
关闭安全盖。
10
将主电源开关置于
ON
。
11
将伺服开关置于
ON
。
O
环
盖
过滤器
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1.
附录
1.
产品安全数据表
该产品安全数据表所记载的项目参考了各油厂商制作的内容。
关于详细内容，请向各油厂商咨询。