松下NPM-D3^D3A操作说明书.pdf - 第641页
NPM- D3 EJM6DC-MB-08O-01 8-1-1 -2 0402 0603 *1) *1) 03015 BGA CSP ( ) ( )
NPM-D3 EJM6DC-MB-08O-01
8-1-1
-1
8-1-1
APC
( APC )
DGS LWS ( NPM-DGS 2D )
APC Advanced Process Control
NPM APC
:
:
:
SPD SP70 SPG
NPM : NPM ( NPM-TT )
:
NPM
NPM : NPM ( NPM-TT )
1
NPM-D3 EJM6DC-MB-08O-01
8-1-1
-2
0402 0603
*1)
*1)
03015
BGA CSP
( )
(
)
NPM-D3 EJM6DC-MB-08O-01
8-1-1
-3
8-1-1
/
APC /
( )
X Y A( )
X Y A( ) ON / OFF
*
NPM-DGS SP
*
2