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RL131 维修手册 5.3 作业部搬送方 面 DA8MCC-Y3-200- A0 5.3-1 5.3. 作业部搬送方面 DA8MCC-Y3-200-A0 5.3.1 基板搬送部 装置编号： N610060945AA 编号 名称 型号 1. 搬送臂向前检测 P914S1 2. 搬送臂向前减速检测 P914S1 3. 搬送臂返回检测 P914S1 4. 定位气缸返回检测 D-A73 5. 定位气缸前进检测 D-A73 1. 3. 2. 4…