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RL131 维修手册 5.3 作业部搬送方面 DA8MCC-Y3-200- A0 5.3-2
RL131
维修手册
5.3 作业部搬送方面
DA8MCC-Y3-200-A0
5.3-1
5.3. 作业部搬送方面
DA8MCC-Y3-200-A0
5.3.1 基板搬送部
装置编号：
N610060945AA
编号
名称 型号
1.
搬送臂向前检测
P914S1
2.
搬送臂向前减速检测
P914S1
3.
搬送臂返回检测
P914S1
4.
定位气缸返回检测
D-A73
5.
定位气缸前进检测
D-A73
1.
3.
2.
4.
5.
RL131
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5.3 作业部搬送方面
DA8MCC-Y3-200-A0
5.3-2
RL131
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5.4 基板定位部
DA8MCC-Y3-400-A0
5.4-1
5.4. 基板定位部
DA8MCC-Y3-400-A0
5.4.1 定位器 (基准销)
装置编号：
N610061375AA
编号
名称 型号
1.
基板定位完成检测
P921S1
2.
基板存在检测
P921SA1
1.
2.