NXTIIIC partlist.pdf - 第129页

M6 IIIc-BED 7/ M6 IIIc-ベッド 7/ 2UGZBE000110 No. Dr g .No. & Code No. QTY Descri p tion Ratin g Materials Remarks 番号 図番 & コード番号 個数 品名 規 格材 質 備 考 1 Y60422 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H04-02AS OT 2 Y60194 1 UNION, ELB…

100%1 / 555
STANDARD
INSTALLATIONS
MANUHOLD
CONVEYOR
DUCT
ダク
LEFT SIDE
RIGHT SIDE
Y-AXIS FLEXIBLE TRACK
FOR FEEDER OPTION
FOR MODULE REAR SIDE
FOR MODULE FRONT SIDE 
DUST COLLECT AIR BLOW ON
Neg press
Pos press
WASTE TAPE
PROCESSING UNIT
DEVICE BASE
Neg press
Neg press
Neg pressPos press
XSLIDE
ノズ ル チェン ジ
NOZZLE CHANGE
バキーム
バキーム
VACUUM BACK UP PINS
VACUUM BACK UP PINS
バ ックアップ ピ
バ ックアップ ピ
IONIZER ON
IONIZER
負圧φ12×2
正圧φ10
 ベー
(エア源)
 ベー
(エア源)
 BASE
(AIR SOURSE
 BASE
(AIR SOURSE
負圧φ12×2
正圧φ10
正圧φ6
左側 右側
  正圧
0.4MPa
  負圧
−59kPa
埃対策
AS1201F−M5−06SA
集塵エアブローON
標準仕様
φ6
Xスラ
φ8 φ8
軸ケーブルベア
ISE30A
−C4L−P−ML
ZSE30A
−C4L−P−ML
SYJ512T
−5MOZ−M5−F−Q
φ4
φ12
φ12
φ6
M5
M5
φ10
φ6
φ6
φ6
φ4
SYJ512T
−5MOZ−M5−F−Q
φ10
φ12
φ4
φ4
φ4
φ6
φ4
φ6
φ8
φ10
φ10
φ4 φ4
φ4
残テープカター
デバイスベー
コン
イオナイザ
(デバイスベース部)
(DEVICE BASE
F2
F1
1/4 1/4 1/41/8 1/8
1/81/81/81/8
φ6
φ6
AS1201F−M5−06SA
オナイザON
1/8 1/8
ダOP用
1/41/4
マニホール
ール後側用
ール前側用 
C1
φ6
φ8 φ10
φ10
D
102103 109
151
141
142
143
144
106
112
115
114
116
23
2730
44
25
26
4
20
425
20
26
52
51
71
72
73
74
89
15 14
10
21 22
29 13 19 17
43 42 41
18 1631
23
118
75
76
77
10
29
2727
24
33
223
105
113
108
110
131
107
132
104
145
117
1
111
7
6
55
12
11
32
101
120
33
34
35
119
121
28 17
18 16
2UGZBE000110
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PTS-NXT3c-01JE
M6 IIIc-BED 7/
M6 IIIc-ベッド 7/
2UGZBE000110
No. Dr
g
.No. & Code No. QTY Descri
p
tion Ratin
g
Materials Remarks
番号 図番 & コード番号 個数 品名
格材
1 Y60422 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H04-02AS OT
2 Y60194 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2VS10-02AS OT
3 Y60195 2 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L04-01AS OT
4 Y60199 2 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L06-M5A OT
5 Y60192 2 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L06-01AS OT
6 H3145K 1 PLUG
KQ2P-04 OT
7 Y60291 1 UNION ユニオン KQ2U04-06A OT
8 Y60205 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2H08-00A OT
9 Y60365 1 UNION ユニオン KQ2H10-12A OT
10 Y60206 2 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L04-06A OT
11 Y60313 1 UNION ユニオン KQ2T10-00A OT
12 A61138 1 ELBOW エル KQ2L12-00A OT
13 Y60203 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S12-03AS OT
14 Y3023W 1 UNION ユニオン PEG12-8 OT
15 Y3027B 1 UNION ユニオン PWJ8-6 OT
16 K11578 2 COUPLER
KK4P-10E OT
17 K1158B 2 COUPLER
K4-04PM OT
18 Y60202 2 ELBOW エル KQ2L10-99A OT
19 2MGKBC000402 1 JOINT ジョイント OT
20 H66819 2 VALVE, SOL バル
 SOL SYJ512T-5MOZ-M5-F-Q OT
21 S64379 1 SW, PRESSURE SW 
レッシャ ISE30A-C4L-P-ML OT
22 S64380 1 SW, PRESSURE SW 
レッシャ ZSE30A-C4L-P-ML OT
23 A3033A 3 PLUG PT1
/
4FE
24 2MGTBC001604 1 MANIFOLD, AIR マニホールド エアー OT
25 A3042A 2 PLUG M-5P OT
26 K63433 2 CONTROLLER, SPEED コントローラ スピード AS2201F-M5-06SA OT
27 A3034A 3 PLUG PT1
/
8FE
28 2MGKBC000101 1 JOINT ジョイント AL
29 A61009 2 ELBOW エル KQ2L12-99A OT
30 Y60374 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2LU06-01AS OT
31 Y60440 1 UNION ユニオン KQ2T10-08A OT
32 Y60219 1 UNION ユニオン KQ2T04-00A OT
33 K63349 1 CAP キャ
KQ2C04-00A OT
34 Y60337 1 UNION ユニオン KQ2T04-06A OT
35 H3145L 1 PLUG
KQ2P-06 OT
41 K1161W 1 COUPLER
CPPE7-01 OT OPTION 1
42 Y3024A 1 UNION ユニオン PMF6-01 OT OPTION 1
43 Y3016B 1 UNION ユニオン PLLJ6 OT OPTION 1
44 Y60346 1 UNION ユニオン KQ2H06-02AS OT OPTION 1
51 S5026S 1 SOCKET ソケット KK2S-06E OT
52 S5026S 1 SOCKET ソケット KK2S-06E OT
71 N2031A 1 NIPPLE
M-5H-6 OT
72 XZ00010 1 JOINT, HOSE ジョイント ホース OT
73 PM78573 1 NIPPLE, VOLUTE ニッ
ル 竹の子 FE
74 Y60191 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L08-00A OT
75 Y60379 1 UNION ユニオン KQ2R08-10A OT
76 A61137 1 ELBOW エル KQ2L10-00A OT
77 Y60178 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQG2L06-M5 OT
101 2MGZBE005401 1 TUBE ュー
OT
102 2MGZBE004000 1 TUBE ュー
OT
103 2MGZBE004100 1 TUBE ュー
OT
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PTS-NXT3c-01JE
M6 IIIc-BED 7/
M6 IIIc-ベッド 7/
2UGZBE000110
No. Dr
g
.No. & Code No. QTY Descri
p
tion Ratin
g
Materials Remarks
番号 図番 & コード番号 個数 品名
格材
104 2MGZBE004201 1 TUBE ュー
OT
105 2MGZBE004300 1 TUBE ュー
OT
106 2MGZBE004401 1 TUBE ュー
OT
107 2MGZBE004500 1 TUBE ュー
OT
108 2MGZBE004600 1 TUBE ュー
OT
109 2MGTBA002701 1 TUBE ュー
OT
110 2MGZBE004700 1 TUBE ュー
OT
111 2MGZBE004800 1 TUBE ュー
OT
112 2MGTBB006600 1 TUBE ュー
OT
113 2MGTBC018900 1 TUBE ュー
OT
114 2MGTBE004700 1 TUBE ュー
OT
115 2MGZBE002400 1 TUBE ュー
OT
116 2MGZBE002500 1 TUBE ュー
OT
117 2MGZBE004900 1 TUBE ュー
OT
118 2MGZBE005000 1 TUBE ュー
OT
119 2MGZBE005500 1 TUBE ュー
OT
120 2MGZBE005601 1 TUBE ュー
OT
121 2MGZBE006700 1 TUBE ュー
OT
131 2MGZBE002600 1 TUBE ュー
OT OPTION 1
132 2MGZBE002700 1 TUBE ュー
OT OPTION 1
141 2MGTSB001602 1 TUBE ュー
AL
142 2MGTSB001702 1 TUBE ュー
OT
143 2MGTSG004101 1 TUBE ュー
OT
144 PZ07201 1 TUBE チュ
OT
145 2MGTPK002800 1 TUBE ュー
OT
151 2MGTBE010200 1 TUBE ュー
OT
OPTION 1:OPTION PARTS WHEN VACUUM BACK UP PINS/バキュームバックアップピン仕様
OPTION 2:OPTION PARTS FOR DUCT WHEN IONIZER IS USED/ダクト手配品 イオナイザ仕様
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