NXTIIIC partlist.pdf - 第273页
ࡇࡢ࣮࣌ࢪࡣࣈࣛࣥࢡ࣮࣌ࢪ࡛ࡍ ↔亥ᱟオⲭ亥 This page is intentionally blank. 273 PTS-NXT3c-01JE
2M IIIc-BASE 9/
2M IIIc-ベース 9/
2UGZBA000112
No. Dr
g
.No. & Code No. QTY Descri
p
tion Ratin
g
Materials Remarks
番号 図番 & ｺｰﾄﾞ番号 個数 品名
規
格材質 備考
75 Y60254 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S16-04AS OT
76 Y60253 1 UNION, HALF ユニオン ハーフ KQ2S16-03AS OT
77 Y60249 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L16-04AS OT
78 Y60248 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L16-03AS OT
79 Y60249 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L16-04AS OT
80 A60260 1 P
/
B SW 押ボタンＳＷ LA3B-M1C1LG OT
81 A61009 2 ELBOW エルボ KQ2L12-99A OT
82 Y60245 1 UNION, ELBOW ユニオン エルボ KQ2L10-03AS OT
83 A61138 2 ELBOW エルボ KQ2L12-00A OT
84 A61137 1 ELBOW エルボ KQ2L10-00A OT
272
PTS-NXT3c-01JE
ࡇࡢ࣮࣌ࢪࡣࣈࣛࣥࢡ࣮࣌ࢪ࡛ࡍ
↔亥ᱟオⲭ亥
This page is intentionally blank.
273
PTS-NXT3c-01JE
正圧
POS PRESS NEG PRESS
負圧
ベース手前から見て左からのＭ３モジュールの番号
Ｍ３ MODULE NUMBER FROM THE LEFT SIDE OF THE FRONT SIDE
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
Ｂ:アンクランプ
Ａでクランプ
Ｂ: UNCLAMP
Ａ
: CLAMP
前側
FRONT SLIDE
前側
FRONT SLIDE
後側
REAR SLIDE
後側
REAR SLIDE
MODULE Z CLAMP MODULE Y CLAMP
モジュールＹクランプモジュールＺクランプ
MODULE Z CLAMP MODULE Y CLAMP
モジュールＹクランプモジュールＺクランプ
メータ アウト
METER OUT
メータ アウト
METER OUT
メータ アウト
METER OUT
メータ アウト
METER OUT
メータ アウト
METER OUT
METER OUT
メータ アウト
METER OUT
メータ アウト
METER OUT
メータ アウト
モジュール側
MODULE SIDE
モジュール側
MODULE SIDE
吸着ノズル用真空ポンプ
VACUUM PUMP FOR NOZZLES
バキュームバックアップ仕様時取付け
SET WHEN VACUUM BACK-UP PIN IS USED
バキュームバックアップ仕様時取付け
SET WHEN VACUUM BACK-UP PIN IS USED
WHEN VACUUM BACK-UP PIN IS USED
SHOULD BE CHANGED TO
［２］ ［１］
（φ３２×２５ ４ヶ） （φ３２×２５ ４ヶ）
Ｍ１ＬＳ２５Ａ Ｍ１ＬＳ２５Ｂ
Ｍ１ＬＳ２４Ａ Ｍ１ＬＳ２４Ｂ
Ｍ１ＬＳ１５Ｂ Ｍ１ＬＳ１５Ａ
Ｍ１ＬＳ１４Ｂ Ｍ１ＬＳ１４Ａ
φ６ φ６ φ６ φ６
φ６φ６
φ６ φ６ φ６ φ６ φ６ φ６
φ６ φ６
φ６
φ６
φ６
φ６ φ６ φ６
φ８ φ８
φ６ φ６ φ６ φ６
φ６ φ６
φ６ φ６ φ６ φ６ φ６ φ６
φ６ φ６
φ６ φ６
φ６ φ６ φ６ φ６
φ８ φ８
Ｍ５ Ｍ５
φ１２×２列
φ１０
φ８ φ８
φ１２φ１２
φ１０
φ１２×２列
φ４
−５９ｋＰａ
０.４ＭＰａ
２ヶ２ヶ
ＢＡ ＢＡ ＢＡ ＢＡ
ＩＩＩＩ
φ４
φ１６
３／８
φ１０ φ１０
３／８
φ１６
φ１６
φ１６
２ヶ
２ヶ
２ヶ
０.５ＭＰａ
φ１２×２列
φ１０
２ヶ
φ１２×２列
φ１０
２ヶ
ＪＪ
Ｊ
（φ６３×８１）（φ６３×８１）
φ６
φ６
２０１
WHEN VACUUM BACK-UP PIN IS USED
SHOULD BE CHANGED TO
φ１６ φ１６
JJ
129 129
131
130
133
132
33333333
32
32
3333
JJK
138
137
125 125
134 134
36 36
37
37
135
136
32
32
3333
126
126
IIII
G
HH
G
HH
121
121
120 120
35 35
34
121
121
118
25
28
27
22
31
30 29
112
111
113
139
202
203
701
702
503
25
28
27
22
31
30 29
112
111
113
139
202
203
201 701
702
503
601
22
12
26
501 502115114
501
12
21 17
13 1411
20
18
19
28
122
104
22
10 17
69
24 23 18
6
117116
19
12
26
501
502
105
109
123
A
B
103102101
8124
5
67
C
D
107 108
16
EF
LL
15 15
106
601
119
G
HH
G
HH
121
121
121
120 120
121
110
35 35
34
12
K
128
127
125
124124
36 36
37
37
133
132
132
3333
3333
135
126
126
125
J
129 129
131
130
3333
32
32
32
32
3333
3
501
12
0,,,F࣮࣋ࢫ
0,,,F%$6(
2UGZBA000112
274
PTS-NXT3c-01JE