NPM-W.pdf - 第152页
21 キットレイアウト KIT LAYOUT - - U41 ( KEJM2DS-20-21 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
PageNo.
20
キットリスト
KIT LIST
1
76
N610095857AA MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT:NP
M
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
O
271
1
77
N610102174AA MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
O
291
1
78
N610105847AA SCRAPER
SCRAPER
O
293
U40
--
( KEJM2DS-20-20 )
21
キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U41
( KEJM2DS-20-21 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
PageNo.
21
キットリスト
KIT LIST
1
79
N610072046AA GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
O
295
1
80
N610072047AA GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O
297
1
81
N610076379AA MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
O
299
1
82
N610126470AA Lubrication Set
給油セット
O
301
1
83
N610105662AA Attachment Case
付属品収納ケース
O
303
1
84
N610102541AA Unit Exchange Tool
ユニット交換工具
O
305
1
123
N610133913AA NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 12Nz
ノズルホルダー清掃治具12Nzセット
O
413
1
124
N610133914AA NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 16Nz
ノズルホルダー清掃治具16Nzセット
O
415
U42
--
( KEJM2DS-20-21 )