NPM-W.pdf - 第154页
22 キットレイアウト KIT LAYOUT - - U43 ( KEJM2DS-20-22 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
PageNo.
21
キットリスト
KIT LIST
1
79
N610072046AA GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
O
295
1
80
N610072047AA GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
O
297
1
81
N610076379AA MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
O
299
1
82
N610126470AA Lubrication Set
給油セット
O
301
1
83
N610105662AA Attachment Case
付属品収納ケース
O
303
1
84
N610102541AA Unit Exchange Tool
ユニット交換工具
O
305
1
123
N610133913AA NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 12Nz
ノズルホルダー清掃治具12Nzセット
O
413
1
124
N610133914AA NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 16Nz
ノズルホルダー清掃治具16Nzセット
O
415
U42
--
( KEJM2DS-20-21 )
22
キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U43
( KEJM2DS-20-22 )
Kit Name
RankQ'ty
番号
Part No.
キット名
品番
数量 ﾗﾝｸ
頁
PageNo.
22
キットリスト
KIT LIST
1
85
N610081724AA Standard Calibration Jig Kit:NPM
標準キャリブレーションジグキット:NPM
O
307
1
86
N610102523AA Standard Calibration Jig Case:NPM
標準キャリブレーションジグ用ケース:NPM
O
311
1
87
N610124226AA XY Plane Calibration Jig:NPM-W
面補正ジグ:NPM-W
O
313
1
88
N610133833AA Machine Adjustment Jig Case:NPM
本体調整用ジグ用ケース:NPM
O
315
U44
--
( KEJM2DS-20-22 )