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QA 表 ＮＯ． 7 (1/2) ＮＯ． 7 (2/2) 机种 １．左测的后ｔ通道真直度 １－１．确认方法 ①安装为了设置Ｉ型伸缩的夹具。 左侧的Ｙ轴直线导轨的真直度 ：１０μｍ以下 ②把拨盘表安装到直线导轨块，在导向器的两端调整I型伸缩位置 左右的Ｙ轴右ｔ通道平行度 ：１０μｍ以下 让拨盘表的直为”０”。 ③在直线导轨的全行程，确认真直度为１０μｍ以下。 １－２．调整方法 ①左图所示的底座的Y轴部的侧面加工面和直线导轨的距离在后通 道…
QA表 ＮＯ． 6 (1/2) ＮＯ． 6 (2/2)
机种
上下方向
左图所示的底座的Y轴部和
Ｙ轴延长架的结合部的高低
上下方向高低差 ：１５μｍ以下 应安装成１５μｍ以下。
Ｙ轴直线导轨上下方向和左右方向的真直度·平行度，降低寿命。
１．Ｙ轴直线导轨损坏，故障
２．降低Ｙ轴直线导轨寿命
３．Ｙ轴直线导轨发生异常声音
４．Ｙ轴后ｔ通道的真直调整，平行调整不良。
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【５】－６
ＣＸ－１
装置名称
ＸY装置（４）
确认方法及调整方法（故障处理方法）
功能名称
Ｙ轴延长机架组装（Ｌ尺寸机）
编制日期
质量保证类别 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用（规格调整值的意义）
预想故障（应规格调整值不良而发生的故障）
对象元件
40000701
Y轴延长机架L(L)
变更履历
货号 品名 有关质量特性
内容
40000702
Y轴延长机架R(L)
日期
高低差15μm以
结合部
Y轴延长架
底架的Y轴部
QA表 ＮＯ． 7 (1/2) ＮＯ． 7 (2/2)
机种
１．左测的后ｔ通道真直度
１－１．确认方法
①安装为了设置Ｉ型伸缩的夹具。
左侧的Ｙ轴直线导轨的真直度 ：１０μｍ以下 ②把拨盘表安装到直线导轨块，在导向器的两端调整I型伸缩位置
左右的Ｙ轴右ｔ通道平行度 ：１０μｍ以下 让拨盘表的直为”０”。
③在直线导轨的全行程，确认真直度为１０μｍ以下。
１－２．调整方法
①左图所示的底座的Y轴部的侧面加工面和直线导轨的距离在后通
道的前后两端距离，调整为１４．５ｍｍ。
②拧松真直度为规格外的直线导轨螺丝，把轨道位置的真直度重新
调整到为１０μｍ以下，拧紧螺丝。
Ｙ坐标有关Ｘ坐标位置的偏斜，影响Ｘ方向的贴装精度。
会给Ｙ轴直线导轨增加负荷，Ｙ轴直线导轨损坏，降低寿命。
１．贴装精度（Ｘ方向）的恶化
２．Ｙ方向移动时发生异常声音
３．Ｙ轴直线导轨损坏，降低寿命。
ＮＯ
①
②
ＮＯ． 担当人
③
④
⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
⑩
【５】－７
ＣＸ－１
装置名称
ＸＹ装置（５）
确认方法及调整方法（故障处理方法）
功能名称
Ｙ轴后ｔ通道的真直·平行（１／２）
编制日期
质量保证类别 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
质量特性(规格调整值)
功能作用（规格调整值的意义）
预想故障（应规格调整值不良而发生的故障）
对象元件
40000703 直线导轨Ｙ（Ｌ）
变更履历
货号 品名 有关质量特性
内容日期
QA表 ＮＯ． 8 (1/2) ＮＯ． 8 (2/2)
机种
２．左右直线导轨的平行度
２－１．确认方法
①把上图的夹具固定到左侧的2个直线导轨部。
②把测定仪器安装到夹具右端，顶到右侧的直线导轨内侧面。
③在全行程移动夹具，确认平行度为１０μｍ以下。
２－２．调整方法
①在直线导轨的前后两端附近，上图表示的底架Ｙ轴部侧面的加工面和直线导轨的
ＮＯ． 担当人
距离调整为１４．５ｍｍ。
②拧松平行度规格外的右侧直线导轨螺丝，调整轨道位置，把平行度重新调整
为１０μｍ以下，然后拧紧螺丝。
【５】－８
ＣＸ－１
装置名称
ＸＹ装置（５）
功能名称
Ｙ轴后ｔ通道的真直·平行（２／２）
编制日期
质量保证类别 功能・安全性 / 可靠性 / 安全性 / 商品特点
变更履历
日期 内容
测定仪器
夹具
后通道(左侧)
后通道(右侧)