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21 キットレイアウト KIT LAYOUT - - U41 ( KEJM2DS-31-21 )
Kit Name
番号
Part No.
キット名
品番
No.
20
キットリスト
KIT LIST
RankQ'ty
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
76
N610095857AB
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER
UNIT:NPM
汎用型転写ユニット(メカ):NPM
1
O271
77
N610102174AA
MULTIFUNCTIONAL TRANSFER UNIT(H)
汎用型転写ユニット(制御)
1
O291
78
N610105847AA
SCRAPER
SCRAPER
1
O293
U40
--
( KEJM2DS-31-20 )
21
キットレイアウト
KIT LAYOUT
--
U41
( KEJM2DS-31-21 )
Kit Name
番号
Part No.
キット名
品番
No.
21
キットリスト
KIT LIST
RankQ'ty
数量 ﾗﾝｸ
頁
Page
79
N610072046AA
GAUGE 0-250micro/scale10micro
膜厚ゲージ 0-250μm/目盛10μm
1
O295
80
N610072047AA
GAUGE 0-500micro/scale20micro
膜厚ゲージ 0-500μm/目盛20μm
1
O297
81
N610076379AA
MAINTENANCE JIG:NPM
メンテナンス治具:NPM
1
O299
82
N610126470AA
Lubrication Set
給油セット
1
O301
83
N610105662AA
Attachment Case
付属品収納ケース
1
O303
84
N610102541AA
Unit Exchange Tool
ユニット交換工具
1
O305
123
N610133913AA
NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 12Nz
ノズルホルダー清掃治具12Nzセット
1
O413
124
N610133914AA
NOZZLE HOLDER REFRESH JIG 16Nz
ノズルホルダー清掃治具16Nzセット
1
O415
U42
--
( KEJM2DS-31-21 )