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Ref No. Remark s R 1 Q'ty 143 塗布ヘッ ド制 御 :NPM DI SP ENS ER HE AD (H) : NPM ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品 名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o . キット品 番 Kit Name キット名称 N610083275AA Part Name 備 考 ｾｸｼｮﾝNo. PARTS LIST Section No. R 3 PCB 1 1…
143
塗布ヘッド制
御
:NPM
DISPENSER HEAD(H):NPM
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610083275AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O465
( KN610083275AA-12 )
Ref
No.
Remarks
R
1
Q'ty
143
塗布ヘッド制
御
:NPM
DISPENSER HEAD(H):NPM
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品 名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit N
o
.
キット品
番
Kit Name
キット名称
N610083275AA
Part Name
備 考
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
PCB
1
1 N610112762AA
S
PCB
1
2 N610112761AA
S
CONTROLLER
1
3 N510055083AA
S
E5ZN-2TNH03TC-70-1
O466
--
( KN610083275AA-12 )
144
付
属
品(塗布ヘッド):NPM
Attachment(DISPENSER HEAD):NPM
パーツレイアウト
Ki
t
N
o
.
キット
品番
Kit Name
キット名称
N610111666AA
ｾｸｼｮﾝNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
--
O467
( KN610111666AA-08 )