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7 预防性维护作业 7.2 维护任务总览 90 用户手册 ASM ProcessLens Dual-lane 06/2018
7 预防性维护作业
7.2 维护任务总览
用户手册 ASM ProcessLens Dual-lane 06/2018 89
7.2 维护任务总览
维护任务流程 1号流程 2号流程 3号流程 4号流程
维护任务（每周）
检查并清洁设备上的风扇 X X X X
检查并清洁 X 与 Y 轴的磁性表面 X X X X
真空传送导轨 X X X X
维护任务（每 3 个月）
清洁 Y1 悬臂辊板 X
更换 Y 轴润滑系统 X
维护任务（每 6 个月）
清洁和防护六角轴 X
清洁并保养传送导轨上的传动丝杠 X
清洁并保养传送导轨导向轴 X
清洁并保养传送导轨线性引导装置 X
维护任务（每 12 个月）
检查安全功能 X
清洁保护盖 X
检查/清洁/更换保护盖上的气压弹簧 X
清洁 X 轴线性引导装置 X
清洁 Y 轴线性引导装置 X
润滑 X 轴的引导轴承 X
润滑 Y 轴的引导轴承 X
目标高度验证（参考单元） X
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7.2 维护任务总览
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