N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊.pdf - 第95页
SPG EJP6AC-MB-0 3MM-03 前面图 每 5 6 0 小 时 保 养 3-4-1 -2 调整气压 后面图 定 期 检 查 ■其他气压 基板夹具压 喷射器压力 调节器 刮刀上升气压 + - + - + -
SPG EJP6AC-MB-03MM-03
每560小
时保养
各气压的确认
3-4-1-1
维修保养篇
3-4-1
确认气压
前面图
使用工具：扳手 所需时间：1 分钟
基板侧面夹紧压
(0.20~0.40 MPa)
刮刀上升气压
(0.11~0.13 MPa)
SPG EJP6AC-MB-03MM-03
前面图
每
5
6
0
小
时
保
养
3-4-1-2
调整气压
后面图
定
期
检
查
■其他气压
基板夹具压
喷射器压力
调节器
刮刀上升气压
+
-
+
-
+
-
SPG EJP6AC-MB-03MM-03
1
3
2
4
检查传送皮带是否有破损
在各传送带的端部,
用手边转传送皮带,边肉眼检查是否有裂开处
■基板定位升降机
3-4-2-1
维修保养篇
3-4-2
■传送带
每560小
时保养
基板传送皮带的检查
使用工具：扳手、六角扳手 所需时间：3～4分钟