N7201A553C08_SPG_Maintenance_維護保養手冊.pdf - 第96页
SPG EJP6AC-MB-0 3MM-03 1 3 2 4 检查传送皮带是否有破损 在各传送带的端部 , 用手边转传送皮带 , 边肉眼检查是否有裂开处 ■ 基板定位升降机 3-4-2 -1 维修保养篇 3-4-2 ■ 传送带 每 560 小 时保养 基板传送皮带的检查 使用工具：扳手、六角扳手 所需时间： 3 ～ 4 分钟
SPG EJP6AC-MB-03MM-03
前面图
每
5
6
0
小
时
保
养
3-4-1-2
调整气压
后面图
定
期
检
查
■其他气压
基板夹具压
喷射器压力
调节器
刮刀上升气压
+
-
+
-
+
-
SPG EJP6AC-MB-03MM-03
1
3
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检查传送皮带是否有破损
在各传送带的端部,
用手边转传送皮带,边肉眼检查是否有裂开处
■基板定位升降机
3-4-2-1
维修保养篇
3-4-2
■传送带
每560小
时保养
基板传送皮带的检查
使用工具：扳手、六角扳手 所需时间：3～4分钟
SPG EJP6AC-MB-03MM-03
3-4-2-2
每
5
6
0
小
时
保
养
定
期
检
查
皮带张力的检查
P
■基板定位单元(2本)
●频率规格值:525Hz±25Hz
■搬送传送带(每传送带2本)
120 mm
160 mm
P
皮带单位重量
0.07 g/cm
皮带宽度
4.5 mm
跨距长度 参照下图
2
左传送带 右传送带
200Hz±30Hz 160Hz±30Hz
●频率规格值
245 mm 314 mm
P
皮带张力的调整
①松开固定电机托架的4根螺栓
②将电机托架上下移动进行张力调整，然后拧紧
螺栓。
ねじ
●事先在频率测量器(皮带厂家等提供的声波张力计等)输入以下数值。用手指弹各跨距的中央部位(下图P部)，
使用频率测量器测定固有振动数。
●调整并固定张力滑轮，使测量值达到规格值。