镭晨AIS43X Series-3D产品介绍_210223.pdf - 第14页
AIS43XSeries -3D｜技术优势-⾼精度 采⽤相位⾼度映射算法进⾏精度标定 ·Φ表⽰相位, ΔΦ 表⽰相位差，Z是⾼度 ·实拍图⽚
AIS43XSeries-3D｜技术优势-成像真实
智能算法成像： 应⽤智能算法前 应⽤智能算法后
深度
图去
噪
FOV
边缘
校正
AIS43XSeries-3D｜技术优势-⾼精度
采⽤相位⾼度映射算法进⾏精度标定
·Φ表⽰相位,ΔΦ表⽰相位差，Z是⾼度
·实拍图⽚
AIS43XSeries-3D｜技术优势-⾼精度
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采⽤动态⾃适应基准⾯算法进⾏基板⾼度校正
重复测量精度
基⾯
拟合
矫正
FOV级动态⾃适应基准⾯算法 器件级⾃适应基准⾯寻找算法
X
Y