镭晨AIS43X Series-3D产品介绍_210223.pdf - 第16页
• 成像稳定。采⽤深度学习去噪，多频四步相移增强鲁棒性，避免亮度 变化对⾼度成像的影响 AIS43XSeries -3D｜技术优势-⾼精度 重复测量精度 n：illumina tionchanging
AIS43XSeries-3D｜技术优势-⾼精度
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采⽤动态⾃适应基准⾯算法进⾏基板⾼度校正
重复测量精度
基⾯
拟合
矫正
FOV级动态⾃适应基准⾯算法 器件级⾃适应基准⾯寻找算法
X
Y
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成像稳定。采⽤深度学习去噪，多频四步相移增强鲁棒性，避免亮度
变化对⾼度成像的影响
AIS43XSeries-3D｜技术优势-⾼精度
重复测量精度
n：illuminationchanging
AIS43XSeries-3D｜技术优势-⾼精度
⾼刚性投影传感结构，提⾼
稳定性，减少⾼速运⾏振动
⾼精度运⾏系统，精度可达
0.00015mm