FX-3R-Rev05.pdf - 第120页
- 11 3 - 57.FC S COMPO NENTS ＦＣＳ 関 係 20 20 18 4 16 19 3 6 15 17 15 16 21 23 14 2 1 10 11 8 5 24 25 13 12 11 9 7
- 112 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 PF-0154010-A0 AIR FILTER
エアフィルター
1
2 PF-9010070-00 FILTER ELEMENT
フィルターエレメント
(1)
3 BT-1200801-EF TUBE
チューブ
0.8
4 PJ-3041200-01 ELBOW D=12
エルボ φ １２
1
5 BT-1200801-EF TUBE
チューブ
1
6 BT-1000651-EB POLYURETHANE TUBE
ポリウレタン チュ−ブ
0.7
7 PJ-3031000-02 STRAGHT
ストレート
1
8 PJ-3090400-03 STRAGHT
レジューサ（φ ４− φ １０）
1
9 BT-0400251-EA TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
0.16
10 SL-6061692-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
2
11 400-31183 FILTER BRACKET
フィルタブラケット
1
12 HX-0005500-0J RUBBER BUSHING
ゴムブッシュ
1
13 E1387-700-000 HOD MAGNET
ＨＯＤ マグネット
2
14 400-17146 DRAIN TANK STAY B
ドレインタンクステイ Ｂ
1
15 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
2
16 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
1
17 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ ４ Ｘ ０．７ Ｌ ＝６
1
18 EA-9500B01-00 CABLE BAND
束線バンド
1
19 400-16815 DRAIN TANK
ドレインタンク
1
20 400-31184 FILTER COVER U
フィルターカバー Ｕ
1
21 SM-3040652-TN SCREW M4 L=6
丸ねじ Ｍ ４ Ｌ ＝６
6
22 400-31185 FILTER COVER B
フィルターカバー Ｂ
1
23 SM-3040652-TN SCREW M4 L=6
丸ねじ Ｍ ４ Ｌ ＝６
4
24 PJ-3041254-01 ELBOW UNION D=12
エルボユニオン φ １２
2
25 BT-1200801-EF TUBE
チューブ
0.2
26 400-73368 STRAIGHT UNION 12
ストレートユニオン φ １２
1
- 113 -
57.FCS COMPONENTS
ＦＣＳ 関係
20
20
18
4
16
19
3
6
15
17
15
16
21
23
14
2
1
10
11
8
5
24
25
13
12
11
9
7
- 114 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-80943 FCS_GLASS_PWB_ASM
ＦＣＳ ガラス基板組
1
2 L191E-021-000 GLASS SCALE
ガラス スケール
(1)
3 400-80944 DRAWING_PAPER
色画用紙（黒）
(1)
4 400-20304 FCS JIG CHIP B
ＦＣＳ 治具チップ Ｂ
2
5 400-27147 SILICON SHEET
シリコンシート
250
6 400-46647 JIG NOZZLE LNC
治具ノズル ＬＮＣ
1
7 400-01344 NOZZLE ASSEMBLY 506
ノズルアッセンブリ５０６
4
8 400-27235 TRAYSEE
めがね拭き
1
9 400-80940 FCS CARRYING CASE
ＦＣＳ キャリングケース
1
10 400-80941 INNER_PACKAGE_A
インナーパッケージ Ａ
(1)
11 400-80942 INNER_PACKAGE_B
インナーパッケージ Ｂ
(1)
12 400-80945 CUSHION_A
クッション＿ Ａ
(1)
13 400-80946 CUSHION_B
クッション＿ Ｂ
(1)
14 400-27316 FCS JIF CHIP CASE
ＦＣＳ 治具チップケース
1
15 400-27312 FCS JIG CHIP HOLDER
ＦＣＳ 治具チップホルダ
(1)
16 400-27313 INNER A
インナー Ａ
(2)
17 400-27314 INNER B
インナー Ｂ
(1)
18 400-27315 INNER C
インナー Ｃ
(2)
19 400-27410 INNER D
インナー Ｄ
(1)
20 400-11453 CAL PIECE G
ＣＡＬ ピース Ｇ
2
21 400-80936 FCS INSTRUCTION MANUAL(ST)
ＦＣＳ 取扱説明書（ＳＴ）
1
22 400-80937 FCS INSTRUCTION MANUAL(JE)
ＦＣＳ 取扱説明書（ＪＥ）
1
23 400-80938 FCS INSTRUCTION MANUAL(CH)
ＦＣＳ 取扱説明書（ＣＨ）
1
24 400-01339 NOZZLE ASSEMBLY 501
ノズルアッセンブリ５０１
24
25 400-80947 ENTRY_CD_ASM
エントリー＿ ＣＤ ＿組
1