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- 10 - REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N 品 名 Qty 1 401-08097 CAL BLOCK A SSY ＣＡＬブロック組 1 2 400-46846 CAL BASE ＣＡＬベース (1) 3 SL-6062092 -TN SCREW M6 L=20 座金付き六角穴ボルト (2) 4 L202E-421-00 0 CAL PLATE ＣＡＬプレート (1) 5 400-4…
- 9 -
5. CAL BLOCK COMPONENTS
ＣＡＬ ブロック関係
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１
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- 10 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-08097 CAL BLOCK ASSY
ＣＡＬブロック組
1
2 400-46846 CAL BASE
ＣＡＬベース
(1)
3 SL-6062092-TN SCREW M6 L=20
座金付き六角穴ボルト
(2)
4 L202E-421-000 CAL PLATE
ＣＡＬプレート
(1)
5 400-45995 CAL PIECE BASE
ＣＡＬピースベース
(1)
6 400-45996 CAL PIECE RING
ＣＡＬピースリング
(1)
7 SM-6031602-TN SCREW M3 L=16
六角穴ボルト
(4)
8 SM-1051452-TN PLATE SCREW
皿ねじ Ｍ５ Ｌ＝１４
(2)
9 PJ-3010405-05 HALF UNION
ハーフユニオン
(1)
10 L202E-521-000 CAL SIDE COVER
ＣＡＬサイドカバー
(1)
11 SM-6030602-TN HEX SCREW M3 X 6
六角穴ボルト Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
(2)
12 L202E-621-000 CAL DIFFUSER
ＣＡＬディフューザ
(1)
13 SL-4030891-SC SCREW M3X8
なべ小ねじセムス Ｍ３ Ｌ＝８
(2)
14 400-07376 CALBLOCK PCB ASM
ＣＡＬブロック基板組
(1)
15 SL-4030691-SC SCREW M3X6
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝６
(2)
16 400-45979 NOZZLE CAL PIECE
ノズルＣＡＬピース
(1)
17 NM-6050001-SC NUT M5
六角ナット Ｍ５Ｘ０．８ １種
(1)
18 L203E-021-000 NOZZLE CAL PIECE OUTER
ノズルＣＡＬピースアザー
(1)
19 L203E-121-000 NOZZLE CAL PIECE OUTER SP
ノズルＣＡＬピーススプリング
(1)
20 PJ-0105050-01 JOINT
延長継ぎ手
(1)
21 401-07834 CAL VAC BRACKET
ＣＡＬ ＶＡＣブラケット
(1)
22 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
23 400-02125 CAL VCUM SV ASM
ＣＡＬ ＶＣＵＭ ＳＶ組
(1)
24 PJ-3010605-03 HALF UNION
ハーフユニオン
(1)
25 E3805-721-000 OCC SHIM B
ＯＣＣシムＢ
(1)
26 E3806-721-000 OCC SHIM C
ＯＣＣシムＣ
(1)
27 E2063-760-000 SHIM C
シム Ｃ
(1)
28 400-02126 CAL VACUUM SENSOR ASSY
ＣＡＬバキュームセンサ組
(1)
29 PJ-3040405-04 ELBOW UNION
エルボユニオン
(1)
- 11 -
6. ATC COMPONENTS
ＡＴＣ 関係
２４
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１
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