JM-10-Rev05.pdf - 第54页
- 49 - 25. SUPPORT TABLE & MTS CONNECT U NIT COMPONENTS(AFTER M/C REV.E) サポートテーブル・ＭＴＳ 接続ユニット関係（マ シン ＲＥＶ．Ｅ 以降） 27 2 3 4 5 4 5 8 8 7 9 7 6 10 11 11 11 11 12 14 15 16 15 18 19 16 20 13 3 22 20 21 22 23 24 26 25 1 39 38 …
- 48 -
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 400-99550 VAC PUMP PLATE
真空ポンププレート
1
2 SM-1051052-TN SCREW
皿ねじ Ｍ５ Ｌ＝１０
4
3 PX-0552010-00 MUFFLER (PLASTIC)
マフラ（樹脂製）
1
4 CM-3003000-02 LABEL2 (25)
高温注意シール２（２５）
1
5 400-99551 VAC PUMP RUBBER
真空ポンプラバー
1
6 400-99549 VAC PUMP BASE
真空ポンプベース
1
7 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
11
8 PJ-3010605-03 HALF UNION
ハ−フユニオン
1
9 400-79043 VALVE BRACKET ASM
バルブブラケット組
1
10 400-76882 VACUUM VALVE CABLE ASM
バキュームバルブケーブル組
(1)
11 PJ-3010405-05 HALF UNION
ハ−フユニオン
(6)
12 400-77357 HEAD VALVE BRACKET
ヘッドバルブブラケット
(1)
13 400-94360 HEAD COVER
ヘッドカバー
(1)
14 E3858-715-000 SEAL
手触れ禁止シール
(1)
15 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(4)
16 SL-6030692-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(4)
17 400-77276 FILTER BOX U70 ASM
フィルタボックスＵ７０組
(1)
18 400-62187 FILTER BOX L 70
フィルタボックスL ７０
(1)
19 400-46646 FILTER
フィルタ
(6)
20 400-46059 O RING F2
ＯリングＦ２
(6)
21 400-46058 O RING F1
ＯリングＦ１
(6)
22 SL-6031092-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(2)
23 401-99457 SCREW_M3_L=40
座金付き六角穴ボルト＿Ｍ３＿Ｌ＝４０
(2)
24 HX-0009600-0A BUSH
エッジングブッシュ
(0.139)
25 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(4)
26 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝６
(4)
27 400-60551 FILTER SET PIN
フィルタセットピン
(6)
28 HX-0022300-00 ADJUSTABLE BUSH
自在ブッシュ
(0.12)
29 400-99548 VACUUM PUMP
真空ポンプ
1
30 PJ-3090852-02 DOUBLE BRANCH UNIVERSAL ELBOW
ダブルブランチユニバーサルエルボ
1
31 401-03158 VAC PUMP BASE 8
真空ポンプベース８
1
32 400-82019 FACE BR OP
フェイスＢＲ ＯＰ
1
33 401-03159 PUMP FAN BRACKET
ポンプファンブラケット
1
34 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
1
35 SL-4033091-SC SCREW M3 L=30
なべ小ねじセムス Ｍ３Ｘ０．５ Ｌ＝３０
4
36 400-54705 VAC FAN CABLE ASM
真空ポンプファンケーブル組
1
37 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
1
38 PF-0200040-00 REGULATOR
レギュレータ
1
39 SM-6033002-TN SCREW M3 L=30
六角穴ボルト Ｍ３ Ｌ＝３０
2
40 400-46540 VACUUM METER
バキュームメータ
1
41 BT-0600400-EC TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホース 青
10
42 PJ-3010600-03 REDUCER
レデューサ
1
43 PX-9500070-00 PLUG
プラグ
1
44 PJ-3030600-03 UNION
異形ユニオン
2
45 400-99554 VACUUM_PUMP_MAINTENANCE_KIT
真空ポンプメンテナンスキット
1
- 49 -
25.SUPPORT TABLE & MTS CONNECT UNIT COMPONENTS(AFTER M/C REV.E)
サポートテーブル・ＭＴＳ 接続ユニット関係（マシン ＲＥＶ．Ｅ 以降）
27
2
3
4
5
4
5
8
8
7
9
7
6
10
11
11
11
11
12
14
15
16
15
18
19
16
20
13
3
22
20
21
22
23
24
26
25
1
39
38
39
38
37
38
39
30
31
32
32
32
53
34
35
36
40
29
48
49
44
45
48
49
50
46
47
43
42
51
41
33
52
54
55 56
57
28
64
60
60
59
63
62
61
62
63
62
63
65
66
67
58
68
19
17
18
3
- 50 -
NOTE( 注記 ) #01....WITH MTS CONNECT UNIT ＭＴＳ 接続ユニット有り
#02....WITHOUT MTS CONNECT UNIT ＭＴＳ 接続ユニット無し
REF.NO NOTE PART NO D E S C R I P T I O N
品 名
Qty
1 401-46070 BU TABLE SLOW DOWN UNIT
ＢＵテーブルスローダウンユニット
1
2 SL-6041292-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(2)
3 HX-0018800-0E BUSH
ブッシュ
(4)
4 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(3)
5 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝６
(3)
6 PV-0151170-A0 SELECTOR
セレクタ
(1)
7 PJ-3010651-03 HALF UNION 6XPT1/8
ハ−フユニオン
(2)
8 PJ-3040651-03 SWIVEL ELBOW
自在エルボ
(2)
9 PV-0251030-00 CHECK VALVE
チェックバルブ
(1)
10 400-94349 AIR_OPE_VALVE
エア＿オペレート＿バルブ
(1)
11 PJ-3040651-03 SWIVEL ELBOW
自在エルボ
(4)
12 SL-6041092-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(1)
13 SL-6042592-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(1)
14 PF-0200040-00 REGULATOR
レギュレータ
(1)
15 SM-6033002-TN SCREW M3 L=30
六角穴ボルト Ｍ３ Ｌ＝３０
(4)
16 PC-0126010-00 SPEED CONTROLLER
スピ−ドコントロ−ラ
(5)
17 SM-6034002-TN SCREW M3 L=40
六角穴ボルト Ｍ３ Ｌ＝４０
(2)
18 WS-0310002-KN SPRING WASHER M3
ばね座金 ３．１Ｘ５．９Ｘ０．７
(4)
19 WP-0320501-SC WASHER M3
平座金 ３．２Ｘ７Ｘ０．５
(4)
20 PJ-3080600-03 Y UNION
ユニオンワイ
(5)
21 SL-6043592-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(2)
22 PJ-3010400-01 REDUCER
レジュ−サ
(2)
23 EA-9500B02-00 CABLE BAND 150
結束バンド １５０
(5)
24 PJ-3030600-01 STRAIGHT UNION
ストレ−ト ユニオン
(2)
25 BT-0400251-EA TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホ−ス 青
(1)
26 BT-0600400-EC TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホ−ス 青
(3)
27 401-46071 BU_TABLE_RATE_CONTROL_BR
ＢＵテーブルコントロールＢＲ
(1)
28
#01
401-46859 MTS CONNECT UNIT
ＭＴＳ接続ユニット
1
29 401-48001 MTS_IF_ASM
ＭＴＳ＿ＩＦ組
(1)
30 401-48003 MTS_IF_BRACKET
ＭＴＳ＿ＩＦブラケット
(1)
31 SM-4860501-SB SCREW M2.5 L=5
なべねじ Ｍ２．６ Ｌ＝５
(2)
32 SL-4030881-SC SCREW M3 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ３ Ｌ＝８
(12)
33 PJ-3040600-04 PARTITION ELBOW
隔壁エルボ
(1)
34 PX-9500010-00 PLUG
止栓
(1)
35 PJ-3080600-03 Y UNION
ユニオンワイ
(1)
36 BT-0600400-EC TUBE HOSE, BLUE
ウレタンホ−ス 青
(0.5)
37 SL-6041092-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(4)
38 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(3)
39 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝６
(3)
40 HX-0009600-0A GROMMET
エッジングブッシュ
(0.1)
41 401-48002 MTS_RELAY_ASM
ＭＴＳリレー組
(1)
42 401-33390 RELAY_STAND_BRACKET
リレースタンドブラケット
(2)
43 401-33391 RELAY_L_STAND_BRACKET
リレー＿Ｌ＿スタンドブラケット
(1)
44 400-50012 CARRIER RAIL
キャリアレール
(1)
45 SL-4040891-SC SCREW M4 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ４ Ｌ＝８
(2)
46 SL-4041091-SC SCREW M4 L=10
なべ小ねじセムス Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝１０
(4)
47 SD-0640246-SP HINGE SCREW D=6.35 H=2.4
段ねじ Ｄ＝６．３５ Ｈ＝２．４
(1)
48 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(2)
49 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝６
(2)
50 HX-0009600-0A GROMMET
エッジングブッシュ
(0.1)
51 SL-6040892-TN BOLT
座金付き六角穴ボルト
(2)
52 401-10050 MTC MTS I/F BR CABLE ASM
ＭＴＣ ＭＴＳ Ｉ／Ｆブラケットケーブル組
(1)
53 401-33418 MTS PWR CABLE ASM
ＭＴＳ 電源ケーブル組
(1)
54 401-35433 8-PORT COM BOARD
８−ＰＯＲＴ ＣＯＭボード
(1)
55 HA-0053000-00 MAGNETIC CONTACTOR
コンタクタ
(1)
56 HA-0053000-20 MAGNETIC CONTACTOR
端子台カバー
(1)
57 HK-0691900-0B BLOCK TERMINAL
ブロックターミナル
(2)
58
#02
401-46860 MTS CONNECT UNIT(W/O MTS)
ＭＴＳ接続ユニット（ＭＴＳ無）
1
59 401-48003 MTS_IF_BRACKET
ＭＴＳ＿ＩＦブラケット
(1)
60 SL-4030881-SC SCREW M3 L=8
座金付きなべ小ねじ Ｍ３ Ｌ＝８
(8)
61 SL-6041092-TN SCREW
座金付き六角穴ボルト
(4)
62 HX-0029400-00 FIXED BASE
固定ベース
(3)
63 SM-4040601-SC SCREW M4X0.7 L=6
なべ小ねじ Ｍ４Ｘ０．７ Ｌ＝６
(3)
64 HX-0009600-0A GROMMET
エッジングブッシュ
(0.13)
65 401-48004 MTS_IF_COVER
ＭＴＳ＿ＩＦカバー
(1)
66 400-81751 B_COVER_SCREW
Ｂカバースクリュウ
(4)
67 400-32319 BLANK PANEL B
ブランクパネル Ｂ
(1)
68 SL-4851091-SC SCREW
座金付きねじ
(2)