NXTIIIC电路图.pdf - 第61页

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NAME PAGE
モジュール回路図
MODULE CIRCUIT DIAGRAM
25
TYPE
デバイスパレット
FEEDER PALETTE
NXTⅢc
DRAWING No.
FUJI SECRET
2RGZBC004300
LOT1
10
11
12
13
14
LOT2
10
11
12
13
14
LOT4
10
11
12
13
14
フィーダーユニット1
  
フィーダーユニット2
  
フィーダーユニット45
  
デバイスパレット
 
パレット基板
 
N1 OW SL
10
N3 11
12
13
14
LOT2
ALET
N2
13 -1
14 -1
12
N5
13
10
11
12
N4
12
11
14
13 LOT4
10
10
11
12
13
14
45 SLOT
LOT1
10
11
12
13
14
LOT2
10
11
12
13
14
LOT2
10
11
12
13
14
フィーダーユニット1
  
フィーダーユニット2
  
フィーダーユニット20
  
デバイスパレット
 
パレット基板
 
N1 OWER LO
-1
-2
-3
-4
-5
-7
-9
10
11
12
13
14
LOT2
ALET
N2 -6
-7
-8
-9
13 10
14 11
12
N5
13
-1
10
11
12
LOT2
10
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12
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20 SLOT
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NAME PAGE
モジュール回路図
MODULE CIRCUIT DIAGRAM
25
TYPE
フィーダユニット
FEEDER UNIT
NXTⅢc
DRAWING No.
FUJI SECRET
2RGZBC004400
LS1
LS1
LS2
W04B FEEDER
フィーダ
W08B FEEDER
フィーダメイン基板
  
LOT1 N1
N3
フィーダパルスモータ
FEEDER PULSE MOTOR
N2
フィーダセットSW
10
-1
FEEDER SET SWITCH
11
-2
12
10
13
11
14
12
原点ホールセンサ基板
ORIGIN HOLE SENSOR BOARD
N6 N1
フィーダパネル基板
  
N5 N1
10 10
11 11
12 12
W12F FEEDER 44F FEEDER W104F FEEDER
W16F FEEDER 56F FEEDER
W24F FEEDER 72F FEEDER
フィーダ
W32F FEEDER 88F FEEDER
フィーダメイン基板
  
LOT* CN N2
-1
-2
フィーダパルスモータ
FEEDER PULSE MOTOR
14
-4
13
N3
フィーダセットSW
10
FEEDER SET SWITCH
11
12
10
13
11
14
12
原位置センサ基板
   
N4 N1
フィーダパネル基板
  
サムロータリーSW
  
N1 N1
10 10
11 11
12 12
W04F FEEDER
W08F FEEDER W08N FEEDER
14
13
13 13
14 14
15 15
16 16
N4
トップフィルム巻取りモータ
TOP FILM WINDING MOTOR
N7
スプライシングセンサ
SPLICING SENSOR
W08C FEEDER
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NAME PAGE
モジュール回路図
MODULE CIRCUIT DIAGRAM
25
TYPE
フィーダユニット
FEEDER UNIT
NXTⅢc
DRAWING No.
FUJI SECRET
2RGZBC004400
LS1 LS1
W04 FEEDER
フィーダ
W08 FEEDER
フィーダメイン基板
  
LOT1 N6
-1
-2
フィーダパルスモータ
FEEDER PULSE MOTOR
-3
-4
N3
フィーダセットSW
10 -8
FEEDER SET SWITCH
11 -9
12 -1
13 -1
14 -1
原位置センサ基板
   
N4 N1
フィーダパネル基板
  
N1 N1
10 10
11 11
12 12
W12 FEEDER W44 FEEDER W104 FEEDER
W16 FEEDER W56 FEEDER
W24 FEEDER W72 FEEDER
フィーダ
W32 FEEDER W88 FEEDER
フィーダメイン基板
  
LOT* CN N2
-1
-2
フィーダパルスモータ
FEEDER PULSE MOTOR
-3
-4
N3
フィーダセットSW
10 -8
FEEDER SET SWITCH
11 -9
12 -1
13 -1
14 -1
原位置センサ基板
   
N4 N1
フィーダパネル基板
  
サムロータリーSW
  
N1 N1
10 10
11 11
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