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MODEL GXH-1S 0701-002 223 Fig. BQ 架台下 XY サーボ電源部 D UNDERFRAME XY SERVO POWER SUPPL Y SECTION D
MEMO
MODEL GXH-1S
0701-002
223
Fig. BQ
架台下
XY
サーボ電源部
D UNDERFRAME XY SERVO
POWER SUPPLY SECTION D
MODEL GXH-1S
0701-002
224
161
171
160
181
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181
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170
170
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167
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164
架台下
XY
サーボ電源部
D UNDERFRAME XY SERVO
POWER SUPPLY SECTION D
Fig. BQ-2
200V
電源４
200V Power Supply 4