HM-Series_TRM(Ver2.2_CS20.11).pdf - 第199页
Page ohu~oh 197 HM520 / HM520h MF Head (3/5) NO. P A RT NO. P ART NA ME Q'TY Old No. Supply Supply L T Reference 1 AM0 3-025656A CABLE ASSY - MF HD F AN CABL E ASSY 1
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HM520 /
HM520h
MF Head (3/5)
1
BOARD
MF BASE
BOARD
MF BASE
CN15
6P
CN15
A2
A1
B1
A1
B1
B3
A3
B2
A2
B3
A3
B2
+5V
ANALOG+_A1(H5)
GND
ANALOG+_A3(H1)
FG
ANALOG+_A2(H3)
NXD_MFHD_011(AM03-025656A)
CN15
6P
CN15
TOP
BOTTOM
CN1
10P
CN1
B2
B3
A1
B4
A5
ANALOG+_A1(H6)
ANALOG+_A3(H2)
FG
ANALOG+_A2(H4)
CN1
10P
A2
A3
B1
A4
B5
BOARD
VACCUM SEN
B2
B3
A1
B4
A5
A2
A3
B1
A4
B5
SEN1
SEN3
+5V
SEN5
GND
SEN2
SEN4
+5V(N.C)
SEN6
GND(N.C)
Ver1.1
Ver1.1
A2
A1
B1
A1
B1
B3
A3
B2
A2
B3
A3
B2
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HM520 /
HM520h
MF Head (3/5)
NO. PART NO. PART NAME Q'TY Old No. Supply Supply LT Reference
1 AM03-025656A CABLE ASSY-MF HD FAN CABLE ASSY 1
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198
HM520 /
HM520h
MF Head (4/5)
1
2
3
4
5
6
7
8
BOARD
MF BASE
BOARD
MF BASE
10P
CN9
CN9
10P
CN10
CN10
NXD_MFHD_004(AM03-025471A)
T1 MOTOR
10P
CN7
CN7
10P
CN8
10P
CN9
10P
CN10
CN10
V
W
U
PE
SHIELD(FG)
NXD_MFHD_017(AM03-025483A)
+5V
GND
ENCA_B+_A3
T2 MOTOR
ENCA_B-_A3
10P
CN7
10P
CN8
TOP
BOTTOM
V
W
U
PE
SHIELD(FG)
NXD_MFHD_002(AM03-025469A)
+5V
GND
ENCA_B+_A3
Z2 MOTOR
ENCA_B-_A3
NXD_MFHD_003(AM03-025470A)
Z3 MOTOR
NXD_MFHD_001(AM03-025468A)
Z1 MOTOR
NXD_MFHD_015(AM03-025481A)
Z5 MOTOR
V
W
U
PE
SHIELD(FG)
NXD_MFHD_014(AM03-025480A)
+5V
GND
ENCA_B+_A2
Z4 MOTOR
ENCA_B-_A2
V
W
U
PE
SHIELD(FG)
NXD_MFHD_016(AM03-025482A)
+5V
GND
ENCA_B+_A2
Z6 MOTOR
ENCA_B-_A2
Ver1.1
Ver1.1
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
V
W
U
PE
SHIELD(FG)
A4
B4
A5
B5
A4
B4
A5
B5
+5V
GND
ENCA_B+_A3
ENCA_B-_A3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
V
W
U
PE
SHIELD(FG)
A4
B4
A5
B5
A4
B4
A5
B5
+5V
GND
ENCA_B+_A3
ENCA_B-_A3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
V
W
U
PE
SHIELD(FG)
A4
B4
A5
B5
A4
B4
A5
B5
+5V
GND
ENCA_B+_A3
ENCA_B-_A3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
V
W
U
PE
SHIELD(FG)
A4
B4
A5
B5
A4
B4
A5
B5
+5V
GND
ENCA_B+_A3
ENCA_B-_A3
CN9
CN10
CN7
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A4
B4
A5
B5
A4
B4
A5
B5
A1
B1
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A3
B3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
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B4
A5
B5
A4
B4
A5
B5
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A4
B4
A5
B5
A4
B4
A5
B5
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A1
B1
A2
B2
A3
B3
A4
B4
A5
B5
A4
B4
A5
B5