Chapter2_Troubleshooting.pdf - 第48页

Model DECAN Series Company SAMSUNG TECHWIN Module HEAD V ersion 01 Tit le [F1004] 发生 " 在特定轴发生错误 ( 追踪误差 )" 错误 Note Page 46 [F1004] 发生 " 在特定轴发生错误 ( 追踪误差 )" 错误 END START N Y N Y N Y N Y N

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Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
HEAD
Version
01
Title
[F1003] 发生特定轴原点复位错误
Note
Page
45
[F1003] 发生特定轴原点复位错误
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Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
HEAD
Version
01
Title
[F1004] 发生"在特定轴发生错误(追踪误差)"错误
Note
Page
46
[F1004] 发生"在特定轴发生错误(追踪误差)"错误
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Model
DECAN Series
Company
SAMSUNG TECHWIN
Module
HEAD
Version
01
Title
[F1005] Mirror不合格
Note
Page
47
[F1005] Mirror 不合格
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