N7201A706C00(1)NPM-WX engineer.pdf - 第175页
EJM9DC-MB-04E-0 0 NPM-W X/WXS 4 5 6 4-8 -2 从安全盖卸下过 滤器进行清扫 ●使用气枪。 ●请勿使用有机溶剂。 过滤器 把过滤器安装在 安全盖上 过滤器 取出过滤器芯进行清扫 ① 分解过滤器单元。 ② 使用气枪，清除过滤器芯的 灰尘。 ( 请勿使用有机溶剂 ) ③ 把过滤器单元组装成原样。 贴装头 过滤器芯 O 型环 过滤器盒 圆环 真空泵
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
2
7
真空泵过滤器的清扫
4-8-1
9
工程师手册
4-8
8
ON
3
1
拆下后侧的交換
台车
●拆卸方法
・交换台车时
(→P.2-4)
对真空泵过滤器的清扫方法进行说明。
使用工具: 六角扳手、十字螺丝刀 所需时间: 30 分钟
●作业过程中，注意不要碰撞到头。
主电源开关置于
OFF，上锁
●螺丝 (8 个)
安全盖
卸下安全盖
安装安全盖
安全盖
●螺丝 (8个)
安装后侧的交換
台车
●安装方法
・交换台车时
(→P.2-4)
解锁
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
4
5
6
4-8-2
从安全盖卸下过
滤器进行清扫
●使用气枪。
●请勿使用有机溶剂。
过滤器
把过滤器安装在
安全盖上
过滤器
取出过滤器芯进行清扫
①分解过滤器单元。
②使用气枪，清除过滤器芯的
灰尘。
(请勿使用有机溶剂)
③把过滤器单元组装成原样。
贴装头
过滤器芯
O型环
过滤器盒
圆环
真空泵
EJM9DC-MB-04E-00NPM-WX/WXS
安全开关的检查
1
按后侧的紧急停止开关，并确认画
面与前侧相同地过渡到新画面。
4-9-1
工程师手册
4-9
紧急停止开关的检查
2
对紧急停止开关的检查方法进行说明。
使用工具: 不要 所需时间: 2 分钟
●请事先执行原点复归操作。
按前侧的紧急停止开关。
请确认画面已经过渡到左侧画面。