N7201A706C00(1)NPM-WX engineer.pdf - 第396页
NPM-W X/WXS EJM9DC-MB-11E-0 0 交换台车 (17 站 ) ( 选购件 ) 11 - 3 -1 设置 1 工程师手册 11 - 3 3,860 838 749 686 838 1,930 1,930 749 1 基板搬送基准 基板搬送基准 交换台车 (17 站 ) ( 选购件 ) FRONT SIDE REAR SIDE 使用工具 : 钢 制卷尺、六角扳手 (3 mm) 、曲尺 、水平测量器、扳手 2 个 (4…
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-11E-00
搬送
11-2
使用叉式升降机、平板推车时
使用起重机时
工程师手册
11-2
FRONT SIDE
RIGHT SIDE
搬运台等
θ
有眼螺栓
(4处)
固定的绳子
MASS: 2,740 kg
CENTER
设备搬送时，请充分注意。交换台车连接在主体设备时，请在搬送前拆卸下来。
使用工具: 扳手46 mm (2个)
●叉子从侧面插入。
平板推车或者叉式升降机
■叉子的插入位置
螺母
叉子的插入位置
叉子
调整螺栓
拧转调整螺栓，直到设备下方高出叉子。
把叉子从右侧插入设备的下面。
● 2 个的叉子的中心按照标签上所示▼调整。
把叉子升起，把设备抬高。
搬移到适当的设置场所。
1
2
3
4
请与专业的搬运公司商量。
●有眼螺栓是要在搬运台等的上面固定时使用的。另外，
固定的绳子与水平线的角度θ应在45度以内。
●有眼螺栓不能用于起吊。
●搬运后保管有眼螺栓。
注意
* 是 WXS时，2,660 kg
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-11E-00
交换台车 (17站)
(选购件)
11-3-1
设置 1
工程师手册
11-3
3,860
838 749 686
838
1,930
1,930
749
1
基板搬送基准
基板搬送基准
交换台车 (17站)
(选购件)
FRONT SIDE
REAR SIDE
使用工具: 钢制卷尺、六角扳手 (3 mm)、曲尺、水平测量器、扳手 2个 (46 mm)
注意
设置
按照地面上所画的基准线暂时放置，然后调整设置位置。
●为了前后的设备之间能够顺利进行基板传送，调整方向和高度。
●和邻接的设备之间的间隔要保持在5～10 mm以下之间。
●设备的下面如果要放置导管，需要与设备之间空开40 mm以上的距离
●各图的尺寸为最小空间。(单位: mm)
●设置本机器请按照专门人员的指示进行操作。
●有关再设置情况请向本公司咨询。
■设置图
●前侧、后侧: 交换台车 (17站x2) (选购件)
前侧、后侧: 交换台车 (17站x2)
NPM-WX/WXS EJM9DC-MB-11E-00
11-3-2
3
2
FRONT SIDE
REAR SIDE
2,900mm
868 mm
2,900 mm
868 mm
(P.11-3-7)
顺序
确认工作区域
工作区域
工作区域