松下NPM-D3配件手册partlist_0FB38.pdf - 第531页
Re f No. Re m arks R 1 Q'ty 93 膜厚ゲージ0-500 μm/目盛20μm GAUGE 0-500mic ro/scale20mic ro ｲﾗｽﾄ No. Part No. 品名 品番 数量 R 2 パーツリスト Kit N o. キット品番 Kit N am e キット名称 N610072047AA Part Name 備考 セクションNo. PARTS LIS T Sectio…
93
膜厚ゲージ0-500μm/目盛20μm
GAUGE 0-500micro/scale20micro
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610072047AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
O335
Ref
No.
Remarks R
1
Q'ty
93
膜厚ゲージ0-500μm/目盛20μm
GAUGE 0-500micro/scale20micro
ｲﾗｽﾄ
No.
Part No.
品名品番 数量
R
2
パーツリスト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610072047AA
Part Name
備考
セクションNo.
PARTS LIST
Section No.
R
3
GAUGE
1
1 N510030573AA 234R type/V
O336
94
メンテナンス治具:NPM
MAINTENANCE JIG:NPM
パーツレイアウト
Kit No.
キット品番
Kit Name
キット名称
N610076379AA
セクションNo.
PARTS LAYOUT
Section No.
O337